为研究不同材料对法布里-珀罗(F-P)干涉声传感器性能的影响。采用几种不同金属材料, 设计制作了基于光纤端面—膜片非本征型F-P干涉声传感器, 利用有限元方法对圆形振动膜片进行模态分析, 得到了一阶固有频率。实验结果表明: 由金、锌合金材料制作的传感器可探测较低声压, 且传感器灵敏度较高、对外界声波信号响应成良好的线性关系。
光纤传感器 法布里-珀罗腔 声传感器 金属材料 圆形膜片 fiber sensor Fabry-Perot cavity acoustic sensor metal material circular diaphragm
1 五邑大学应用物理与材料学院，广东 江门 529020
2 木林森股份有限公司，广东 中山 528415
近年来半导体照明光源-发光二极管(LED)产业和技术发展迅速，取代传统白炽灯的步伐越来越快，相关核心技术的研究也成为各国研究的热点，但LED的发光效率和制造成本依然是阻碍LED绿色照明光源普遍推广应用的一个绊脚石。文章简述了提高外量子效率的几种有效途径，如表面微粗化技术、芯片非极性面/半极性面生长技术、倒装芯片技术、生长分布布喇格反射层(DBR)结构、激光剥离技术，纳米压印与SU8胶相结合技术、光子晶体技术等。
半导体照明光源 表面微粗化技术 倒装芯片技术 激光剥离技术 semiconductor light source surface roughening technology flip-chip technology divesting laser technology
