作者单位
摘要
青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安710000
本文对TOPCon电池发射结的叠层钝化膜进行了研究,对比了3种不同叠层钝化膜(SiO2/SiNx、Al2O3(1.5 nm)/SiNx、SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx)的钝化性能。结果表明:Al2O3(1.5 nm)/SiNx的钝化性能优于SiO2/SiNx,SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx的钝化水平最佳,隐开路电压均值可达到705 mV。基于Al2O3/SiNx叠层膜研究了Al2O3厚度(1.5 nm、3 nm和5 nm)对钝化性能和电池转换效率的影响。当Al2O3厚度由1.5 nm增加到3 nm时,钝化性能得到明显提升,隐开路电压均值提高了20 mV,达到707 mV,对应电池的光电转换效率升高了0.23个百分点,与SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx叠层膜电池的转换效率持平。然而,当Al2O3厚度继续增加至5 nm时,隐开路电压均值保持不变。因此可以使用Al2O3(3 nm)/SiNx叠层膜代替SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx叠层膜,不仅简化了电池的工艺步骤,而且降低了生产成本。
TOPCon电池 表面钝化 三氧化二铝 Al2O3/SiNx叠层钝化膜 钝化性能 隐开路电压 TOPCon solar cell surface passivation aluminum oxide Al2O3/SiNx stacked passivation film passivation performance implied open circuit voltage 
人工晶体学报
2022, 51(12): 2090
作者单位
摘要
1 西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071
2 青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安 710000
本文对70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺、钝化性能及光伏特性进行了研究。确定了70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺,研究表明当离子注入剂量为3.2×1015 cm-3,在855 ℃退火20 min时,70 nm超薄多晶硅的钝化性能可以达到与常规120 nm多晶硅相当的水平,且70 nm多晶硅的表面掺杂浓度达到5.6×1020 atoms/cm3,远高于120 nm掺杂多晶硅的表面掺杂浓度(2.5×1020 atoms/cm3)。基于70 nm超薄多晶硅厚度减薄和高表面浓度掺杂的特点,较低的寄生吸收和强场钝化效应使得在大尺寸(6英寸)直拉单晶硅片上加工的N型TOPCon太阳能电池的光电转换效率得到明显提升,主要电性能参数表现为: 电流Isc升高20 mA,串联电阻Rs降低,填充因子FF增加0.3%,光电转换效率升高0.13%。
TOPCon太阳能电池 多晶硅 掺杂 离子注入 钝化接触 寄生吸收 光电转换效率 TOPCon solar cell poly-silicon doping ion implantation passivation contact parasitic absorption photoelectric conversion efficiency 
人工晶体学报
2022, 51(3): 434
陈志强 1,2,**程凌浩 1鲍园 2,*刘大伟 2[ ... ]陈志涛 2
作者单位
摘要
1 暨南大学光子技术研究院,广东 广州 510632
2 广东省科学院半导体研究所,广东 广州 510651
信道线性及非线性失真会降低基于四电平脉冲幅度调制(PAM4)的短距离光互联系统的性能,利用PAM4发射芯片对信号进行预补偿能缓解信道失真带来的影响。因此,研究了一种适用于短距离光互联的PAM4发射芯片架构。该架构基于查找表(LUT)均衡器和源串联终端数模转换器灵活补偿光信道失真,利用流水线结构的选择器进行高速LUT读取;同时,采用电阻反馈的预驱动电路减少高速数模转换器信号输出时的码间干扰。后仿真结果表明,55 nm工艺制程PAM4发射芯片的速率可达到40 Gbit/s,能实现灵活配置的均衡模式,满足下一代数据中心、接入等光互联网络的需求。
光通信 四电平脉冲幅度调制 数模转换器 查找表 非线性均衡 
激光与光电子学进展
2021, 58(21): 2106004
作者单位
摘要
国家电投集团西安太阳能电力有限公司,西安 710000
N型隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide Passivating Contacts,TOPCon)太阳能电池完成印刷烧结后,再经过光注入,效率有明显提升,主要表现在Voc(开路电压)及FF(填充因子)的提升。其机理在于通过温度和光照强度调节费米能级变化,控制H总量及价态来提高钝化性能。钝化膜层的质量、硅基体掺杂浓度、光注入退火时的工艺温度等对光注入退火工艺提升效率有很大影响。实验证明转换效率越低的电池片经过光注入后效率提升幅度越大; 转换效率越高的电池片缺陷会更小,经过光注入退火工艺后几乎无增益。另外同心圆在经过光注入退火工艺后会明显消除。本文主要研究温度、光强、基体电阻率、正表面金属接触面积大小、poly-Si(多晶硅)厚度对光注入退火工艺增效的影响。
光注入 退火 钝化膜 对称结构 多晶硅 温度 同心圆 light injection annealing passivation film symmetrical structure poly-Si temperature concentric circle 
人工晶体学报
2021, 50(1): 66
作者单位
摘要
国家电投集团西安太阳能电力有限公司,西安 710000
本文旨在针对TOPCon(Tunnel Oxide Passivated Contact背面隧穿氧化钝化接触)晶硅电池制备过程中,背面钝化多晶硅层沉积引起的硅片正面边缘沉积多晶硅绕镀层的去除进行工艺研究,进一步解决了电池外观不良和该多晶硅层对电池正面光的吸收影响。文中分别尝试采用HF-HNO3混酸溶液和KOH碱溶液两种方式进行腐蚀处理,然后通过对处理后硅片正面的工艺控制点监控和电池EL检测等手段评估去除效果。其中HF 1wt%、HNO3 50wt%混合溶液时腐蚀4 min以上可去除该绕镀层,但是大于6 min后硅片正面的方块电阻提升、硼掺杂浓度等变化幅度很大。KOH质量分数0.1wt%、添加剂体积分数5vol%混合溶液60 ℃时,腐蚀2.5 min以上可去除该绕镀层且方块电阻等测试相对变化幅度较小。故前者对电池后期电极的制备工艺要求更高否则容易引起欧姆接触不良,后者则对电池电极的制备工艺控制窗口更大。所以认为在多晶硅绕镀层的去除方面KOH腐蚀更适合工业批量化生产工艺选择。
TOPCon电池 多晶硅绕镀层 腐蚀 硼掺杂 去除工艺 TOPCon solar cell polysilicon surround coating etching boron-doping removal technology 
人工晶体学报
2020, 49(9): 1641
作者单位
摘要
1 国家电投集团西安太阳能电力有限公司,西安 710100
2 西安理工大学电子工程系,西安 710048
为了研究载流子选择性接触结构在N型晶硅电池钝化特性,本文设计了专门的材料结构。分析对比了不同掺杂浓度分布的材料结构在退火后、沉积SiNx∶H薄膜后及烧结后隐开路电压值的变化,并对其钝化机理进行了分析。研究结果表明隐开路电压值对掺杂浓度分布非常敏感。随着掺杂浓度分布进入硅基体的“穿透”深度增加,相对应地退火后、SiNx∶H薄膜沉积后及烧结后隐开路电压值均呈现先增加后减小的趋势,且样片沉积SiNx∶H薄膜后隐开路电压的增加幅度也逐渐减小,而样片烧结后隐开路电压值又出现不同幅度的下降,且隐开路电压值的下降幅度逐渐减小。通过适当的掺杂工艺,可以使得烧结后的隐开路电压均值达到738 mV。
晶硅电池 N型 载流子选择接触 氢钝化 掺杂浓度分布 crystalline silicon cell N-type carrier selective contact hydrogen passivation doping concentration distribution 
人工晶体学报
2020, 49(9): 1631
作者单位
摘要
1 长安大学地测学院, 陕西 西安 710054
2 武警工程大学信息工程系, 陕西 西安 710086
针对高空间分辨率遥感影像的分类问题,提出了基于深度学习的分类方法。该方法通过非下采样轮廓波变换计算影像的纹理特征,利用深度学习的常用模型—深度信念网络(DBN)对高分辨率遥感影像进行了基于光谱-纹理特征的分类,并与基于单源光谱信息的DBN 分类方法、支持向量机(SVM)分类方法、传统神经网络(NN)分类方法进行了比较分析。研究结果表明:相对于单源光谱信息,利用影像的光谱-纹理特征能够有效提高高分辨率遥感影像的分类精度;相对于SVM、NN 等分类方法,DBN 能够更加准确地挖掘高分辨率遥感影像的空间分布规律,提高分类的准确度。
遥感 深度学习 深度信念网络 高空间分辨率 遥感影像分类 非下采样轮廓波变换 纹理 
光学学报
2016, 36(4): 0428001
作者单位
摘要
1 五邑大学应用物理与材料学院,广东 江门 529020
2 木林森股份有限公司,广东 中山 528415
近年来半导体照明光源-发光二极管(LED)产业和技术发展迅速,取代传统白炽灯的步伐越来越快,相关核心技术的研究也成为各国研究的热点,但LED的发光效率和制造成本依然是阻碍LED绿色照明光源普遍推广应用的一个绊脚石。文章简述了提高外量子效率的几种有效途径,如表面微粗化技术、芯片非极性面/半极性面生长技术、倒装芯片技术、生长分布布喇格反射层(DBR)结构、激光剥离技术,纳米压印与SU8胶相结合技术、光子晶体技术等。
半导体照明光源 表面微粗化技术 倒装芯片技术 激光剥离技术 semiconductor light source surface roughening technology flip-chip technology divesting laser technology 
现代显示
2012, 23(5): 31

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