1 重庆光电技术研究所, 重庆 400060
2 电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054
在低压金属有机化学气相沉积生长工艺中, 对用于制作850nm垂直腔面发射激光器件的GaAs/AlxGa1-xAs多量子阱外延结构的生长温度、反应室压力、总载气流量以及生长速度等主要工艺参量进行优化, 并进行了完整外延结构的生长.实验结果表明: 在700℃条件下, 得到多种组分的GaAs/AlxGa1-xAs多量子阱结构,通过光致发光谱对比测试得到的最佳组分x为0.24, 同时得到良好的表面形貌, 最终确定的最佳生长速度为0.34~0.511nm/s.
金属有机化学气相沉积 生长温度 多量子阱 生长速度 外延结构 Metal-organic chemical vapor deposition Growth temperature Multiple quantum well Growth rate Epitaxial structure
超声检测技术是用于检测物体表面、亚表面、内部区域及内部投影,产生高分辨率特征图像的检测技术。由于它能获得反映决定检测物体机械性能参数的声学图像而被广泛地应用于无损检测领域。超声检测技术在无损检测领域占有非常重要的地位。激光的出现并且应用于超声检测技术中,给超声检测技术带来了巨大的变化。对激光在超声检测技术中的两个应用方面,即激光超声技术和激光扫描声学显微镜做了详细的阐述。
超声检测 激光超声技术 激光扫描声学显微镜 无损检测