邓建阳 1贺龙飞 2,*武智波 1李睿 1[ ... ]冀子武 1,**
作者单位
摘要
1 山东大学 微电子学院,新一代半导体材料研究院,山东 济南 250100
2 广 东省科学院 半导体研究所,广东 广州 510650
3 山东浪潮华光光电子股份有限公司,山东 潍坊 261061
利用磁控溅射和金属有机化学气相沉积方法在c面蓝宝石衬底上生长了深紫外Al0.38Ga0.62N/Al0.55Ga0.45N多量子阱结构,并对其荧光(PL)谱进行了测量。其PL谱的激发密度依赖性测量结果表明,该量子阱的辐射过程包含了局域载流子的散射、极化场的屏蔽和局域态的填充效应;其PL谱的温度依赖性测量结果则表明,该量子阱的辐射过程包含了局域载流子的弛豫、局域载流子的热激发和自由载流子的常规热化效应。这个现象(即多种辐射复合过程的存在)在低温和弱激发测试条件下尤为显著,并且表现出该量子阱结构具有显著的局域深度非均一性和载流子的局域效果,是浅局域载流子的散射效应和深局域态的载流子填充效应共同作用所致。在较低的温度范围内,随着温度升高,该量子阱的辐射过程是由浅局域载流子的弛豫效应和深局域载流子的热激发效应共同作用的结果。这些行为被归因于阱宽起伏所诱发的局域深度的非均一性和载流子的局域效果。
深紫外LED AlGaN多量子阱 光致发光 载流子局域效应 deep-ultraviolet LED AlGaN multiple quantum well photoluminescence carrier localization effect 
发光学报
2023, 44(11): 1974
于海鑫 1,2王海珠 1,2,*郎天宇 1,2吕明辉 1,2[ ... ]邹永刚 1,2
作者单位
摘要
1 长春理工大学 重庆研究院,重庆 401135
2 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春 130022
InGaAs/AlGaAs多量子阱(MQWs)作为一种常见的Ⅲ?Ⅴ族外延材料,通常应用于半导体激光器和太阳能电池等领域。然而,由于量子阱的势阱层和势垒层生长温度不同,铟原子的偏析和多量子阱生长质量较差等问题尚未得到很好的解决。本文设计了一种砷化镓(GaAs)材料作为插入层(ISL),并用于InGaAs/AlGaAs MQWs的结构。PL、XRD、AFM测试表明,GaAs插入层保证了MQWs结构中更多的辐射复合,阻止了铟原子的偏析。但GaAs插入层的引入也会产生“局域态”,影响量子阱的发光性质。本研究可以加深对InGaAs/AlGaAs多量子阱辐射复合机制的理解,并且对引入GaAs插入层的InGaAs/AlGaAs多量子阱发光性质的研究具有重要意义。
InGaAs/AlGaAs多量子阱 局域态 插入层 金属有机化合物气相外延(MOCVD) InGaAs/AlGaAs multiple quantum wells local state insert layer metal-organic compound gas phase epitaxy (MOCVD) 
发光学报
2023, 44(11): 1967
冯萧萧 1韩明宇 1陈美鹏 1方倩 1[ ... ]李欣 1,2,*
作者单位
摘要
1 南京邮电大学 通信与信息工程学院 江苏省氮化镓光电子集成国际合作联合实验室, 江苏 南京 210003
2 南京邮电大学 宽带无线通信与传感网技术教育部重点实验室, 江苏 南京 210003
在自然界中,物体运动无处不在,随着智能汽车、6G移动通信的高速发展,对通信和运动探测传感融合的高集成度通感一体器件的需求日益增加。本文基于氮化镓多量子阱结构发光和探测并存的特点,提出了一种基于蓝宝石衬底外延生长氮化镓多量子阱材料的集成式光电子芯片,该芯片具有灵敏的运动探测功能及可见光通信功能。该光电子芯片发射器向运动的目标物体发射蓝光波段可见光信号,经目标物体运动调制的可见光信号反射回光电子芯片的接收器部分,激发变化的光电流。通过分析接收器的光电流变化,可探测以不同速度旋转的目标物体的运动情况,光电流曲线变化周期与目标物体旋转周期一致。本文还研究了光电子芯片的各项光电指标及可见光通信性能,该芯片可用作可见光通信系统的收发终端,可以处理和传输芯片采集到的运动探测信号。基于氮化镓多量子阱材料的光电子芯片是一种具有实用价值的高集成度通感一体终端器件。
运动探测 多量子阱 三族氮化物 光电子芯片 可见光通信 motion detection multiple quantum wells III-nitride optoelectronic chips visible light communication 
中国光学
2023, 16(5): 1257
王曲惠 1,2王海珠 1,2王骄 1,2马晓辉 1,2,*
作者单位
摘要
1 长春理工大学 高功率半导体国家重点实验室,吉林 长春 130022
2 长春理工大学 重庆研究院,重庆 401135
针对高应变InGaAs/GaAs多量子阱中存在的局域态问题,利用金属有机化合物气相外延(MOCVD)技术,设计并生长了五周期的In0.3Ga0.7As/GaAs高应变多量子阱材料。通过原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)和变温光致发光(Photoluminescence,PL)测试,发现量子阱内部存在缺陷及组分波动的材料无序性表现,验证了多量子阱内部局域态的存在及起源。同时发现在不同测试位置,局域态在低温下对光谱的影响也不同,分别表现为双峰分布和峰位“S”型变化。这进一步说明材料内部无序化程度不同,导致局域态的深度也不同。依据温度?带隙关系的拟合,提出了包含局域态的多量子阱材料的电势分布,并揭示了局域态载流子和自由载流子的复合机制。并且借助变功率PL测试,研究了在不同激发功率密度下不同深度的局域态的发光特性。
InGaAs/GaAs多量子阱 局域态 高应变 金属有机化合物气相外延(MOCVD) InGaAs/GaAs MQWs localized states high strain metal⁃organic chemical vapor deposition(MOCVD) 
发光学报
2023, 44(4): 627
作者单位
摘要
南京邮电大学 通信与信息工程学院, 南京 210003
为了应对新一代通信技术频谱危机, 根据量子阱二极管发光谱和探测谱存在重叠区的物理现象, 提出一种基于氮化镓集成光电子芯片的单通道全双工可见光通信系统。采用具有相同量子阱结构的一对蓝光、绿光氮化镓量子阱二极管器件, 分别作为光发射器和光接收器, 器件集成TiO2/SiO2分布式布喇格反射镜(DBR), 将入射光和发射光隔离, 实现单通道全双工光通信。测试结果表明, 该可见光通信系统通过集成氮化镓光电子芯片, 节约了信道空间, 对面向未来6G的可见光通信技术的发展具有重要意义。
全双工可见光通信 多量子阱 分布式布喇格反射镜 单通道 氮化镓集成光电子 full duplex visible light communication, multiple 
光通信技术
2023, 47(1): 40
作者单位
摘要
1 中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院, 安徽 合肥 230026
2 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 江苏 苏州 215123
3 昆山杜克大学自然与应用科学学部, 江苏 昆山 215316
金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备InGaN/GaN多量子阱结构时, 在GaN势垒层生长的N2载气中引入适量H2, 能够有效改善阱/垒界面质量从而提升发光效率。 本工作利用光致发光(PL)光谱技术, 对蓝光激光器结构中的InGaN/GaN多量子阱的发光性能进行了精细的光谱学测量与表征, 研究了通H2生长对量子阱界面的调控效应及其发光效率提升的物理机制。 室温PL光谱结果显示, GaN势垒层生长载气中引入2.5%的H2使InGaN/GaN多量子阱的发光效率提升了75%、 发光峰的峰位蓝移了17 meV、 半峰宽(FWHM)减小了10 meV。 通过功率依赖的PL光谱特征分析, 我们对InGaN/GaN量子阱中的量子限制Stark效应(QCSE)和能带填充(Band Filling)效应进行了清晰的辨析, 发现了发光峰峰位和峰宽的光谱特征主要受QCSE效应影响, H2的引入能够大幅度降低QCSE效应, 并且确定了QCSE效应被完全屏蔽情况下的发光峰能量为2.75 eV。 温度依赖的PL光谱数据揭示了通H2生长量子阱结构中显著减弱的载流子局域化行为, 显示界面质量提高有效降低了限制势垒的能量波动, 从而导致更窄的发光峰半峰宽。 PL光谱强度随温度的变化规律表明, 通H2生长并不改变量子阱界面处的非辐射复合中心的物理本质, 却能够显著减少非辐射复合中心的密度, 有助于提升量子阱的发光效率。 通过时间分辨PL光谱分析, 发现通H2生长会导致量子阱结构中更短的载流子辐射复合寿命, 但不影响非辐射复合寿命。 载流子复合寿命的变化特征进一步确认了通H2生长对量子阱结构中QCSE效应和非辐射复合中心的影响规律。 综合所有PL光谱分析结果, 我们发现通H2生长能够提高InGaN/GaN多量子阱的界面质量、 显著减弱应力效应(更弱的QCSE效应)、 降低限制势垒的能量波动以及减少界面处非辐射复合中心的密度, 从而显著提升量子阱的发光效率。 该研究工作充分显示了PL光谱技术对半导体量子结构发光性能的精细表征能力, 光谱分析结果能够为InGaN/GaN多量子阱生长提供有价值的参考。
InGaN/GaN多量子阱 光致发光光谱 量子限制Stark效应 载流子局域化 载流子复合寿命 InGaN/GaN MQWs Photoluminescence spectroscopy Quantum-confined Stark effect Carrier localization Carrier recombination lifetime 
光谱学与光谱分析
2022, 42(4): 1179
作者单位
摘要
重庆光电技术研究所, 重庆 400060
通过理论仿真和实际制备测试, 分析比较了基于非对称量子阱结构(10nm厚和6nm厚的量子阱组合)的光放大芯片与对称量子阱结构(10nm厚量子阱)的光放大芯片的性能。两种结构的理论模式增益同最终实测值符合较好。最终光谱测试结果显示, 对称量子阱结构的光放大芯片存在基态增益饱和的现象, 在大电流注入情况下, 激态跃迁占据优势, 从而造成光谱宽度急剧下降。而非对称量子阱结构的光放大芯片的光谱宽度随着注入电流的增加不断拓宽, 在600mA下实现199.7nm光谱带宽, 覆盖S+C波段。由此可见, 非对称量子阱结构更有利于实现高功率、宽光谱的光放大芯片。
宽光谱 S+C波段 对称和非对称多量子阱 wide spetrum S+C band InGaAlAs/InP InGaAlAs/InP symmetric and asymmetric multi-quantum-well 
半导体光电
2022, 43(5): 914
作者单位
摘要
武汉大学 电子信息学院, 武汉 430072
分析了多量子阱材料各参数对其TE模和TM模有效折射率的影响。结果表明: 阱数增多, 多量子阱有效折射率降低, 当量子阱数目大于3时, 其有效折射率的变化不明显。垒厚增加, 有效折射率略有降低。存在合适的张应变量使TE模和TM模有效折射率峰值波长接近的同时, 折射率差值整体最小, 偏振相关性最小。据此提出多量子阱材料有效折射率低偏振相关设计方法, 并设计出C波段内(1530~1565nm)折射率低偏振相关的InGaAs/InGaAsP多量子阱材料。研究结果有助于设计实用化的有效折射率低偏振相关量子阱材料。
多量子阱 折射率偏振相关 量子阱数 垒厚 应变 multiple quantum well polarization dependence of refractive index number of quantum wells barrier thickness strain 
半导体光电
2022, 43(4): 781
黄强 1,2张意 1孙军强 1,*余长亮 3[ ... ]黄楚坤 1
作者单位
摘要
1 华中科技大学武汉光电国家研究中心,湖北 武汉 430074
2 邵阳学院电气工程学院多电源地区电网运行与控制湖南省重点实验室,湖南 邵阳 422000
3 武汉飞思灵微电子技术有限公司,湖北 武汉 430040
硅基光子集成技术在众多领域已经取得了重大突破,但目前唯一能实现全部硅基集成有源器件且与互补金属氧化物半导体工艺兼容的材料是锗硅材料体系。Ge/SiGe多量子阱作为硅基光调制器在硅芯片上能实现短距离光互连,基于量子限制斯塔克效应的Ge/SiGe多量子阱调制器具有低功耗、低偏压、高速率的优点。总结了基于Ge/SiGe多量子阱调制器的研究现状和进展,讨论对比了Ge/SiGe多量子阱调制器的消光比、光损耗、偏置电压、电场、光调制器的调制带宽、暗电流等性能参数,展望了Ge/SiGe多量子阱调制器在集成光子学中的发展方向和面临的挑战。
光学器件 硅基光子学 SiGe调制器 Ge/SiGe多量子阱 量子限制斯塔克效应 
激光与光电子学进展
2022, 59(19): 1900003
作者单位
摘要
1 河南仕佳光子科技股份有限公司, 河南 鹤壁 458030
2 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室, 北京 100083
为了应对共封装光学(CPO)系统对硅光外置光源提出的高功率、低噪声、低功耗等要求, 设计了一种波长在1310nm附近的AlGaInAs多量子阱(MQW)高功率连续波(CW)分布反馈(DFB)激光器芯片。通过在有源层MQW的下方插入一层InGaAsP远场减小层, 实现光模场向n型包层下移, 减小远场发散角的同时降低了量子阱区的光限制因子和整体的光吸收损耗, 制作的激光器可以实现高斜率效率、非致冷高温高功率工作。测试结果显示, 该激光器在25℃下, 阈值电流为20mA, 斜率效率为0.46W/A, 输出功率为173mW@400mA; 当注入电流为300mA时, 激光器的水平和竖直发散角分别是15.2°和19.1°, 边模抑制比大于55dB, 洛伦兹线宽小于600kHz, 相对强度噪声(RIN)小于-155dB/Hz; 在85℃高温下, 激光器阈值电流为32mA, 输出功率达到112mW@400mA。
共封装光学 连续波 多量子阱 分布反馈激光器 co-packaged optics (CPO) continuous wave (CW) multiple quantum well (MQW) AlGaInAs AlGaInAs distributed feedback (DFB) laser 
半导体光电
2022, 43(2): 267

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