1 西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710021
2 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西 西安 710021
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备氮化硅(SiNx)和含氟氧化硅(SiOxFy)薄膜,探讨了薄膜材料的最佳制备工艺参数,明确了薄膜光学特性与气体流量、射频功率、反应压强等制备工艺参数的关系; 设计并制备了1 064 nm高反射膜, 并与PVD法制备的Ta2O5/SiO2高反膜进行对比, 结果表明, 其反射率在99.0%左右时, PECVD法制备的高反膜具有较高的抗激光损伤阈值, 约为PVD法的2倍。
薄膜 高反膜 损伤阈值 coating PECVD PECVD high reflectance coating LIDT
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院 太赫兹研究中心, 四川 绵阳 621900
为适应0.14 THz超高分辨雷达实时成像的需求，开发了基于CPU+GPU+FPGA的硬件架构和成像处理算法，算法以距离-多普勒为原型，引入L类维格纳分布变换提高横向分辨力，用Keystone变换方法对越距离单元徙动进行校正，并开发了系统非线性补偿算法。在载频0.14 THz、带宽5 GHz雷达样机上进行了逆合成孔径雷达成像试验，获得了3 cm×3 cm的成像分辨力和实时成像能力，验证了信号处理方法的有效性。
太赫兹雷达 高分辨力 逆合成孔径雷达成像 非线性补偿 terahertz radar high resolution inverse synthetic aperture radar imaging nonlinearity compensation
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所， 四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院 太赫兹研究中心, 四川 绵阳 621900
太赫兹成像采用的成像算法多来自于其他频段已经成熟的成像算法，而针对太赫兹波特性的成像算法还不多见，因此在太赫兹频段形成了成像机理及算法研究的空白。按照经典电磁理论、光学原理对太赫兹成像进行分类，指出了雷达成像与太赫兹成像之间的关系。并通过研究太赫兹雷达目标散射特征，分析了不同太赫兹源的衍射极限成像分辨力。最后，从信号处理的角度介绍了太赫兹雷达信号处理及成像算法的研究现状。
太赫兹成像 雷达成像 雷达信号处理 目标散射特征 terahertz imaging radar imaging radar signal processing target signature
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院, 四川 绵阳 621900
给出了一种载频0.14 THz、带宽5 GHz的极高分辨力太赫兹雷达成像系统样机。系统采用Ka波段毫米波信号二倍频后作为样机收发链路的谐波混频本振, 以线性调频连续波信号作为发射信号, 接收时采用去斜接收。利用该太赫兹雷达进行了成像试验并得到了1维距离像与逆合成孔径雷达(ISAR)成像结果。结果表明, THz雷达样机实现了3 cm的高分辨力, 其ISAR像清晰, 反映了目标的细微特征。
太赫兹 宽带雷达 极高分辨力 ISAR成像 terahertz wide-band radar extremely high resolution inverse synthetic aperture radar imaging
