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同名作者【柳原美广】论文列表

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仪器，测量与计量

软X射线(60～900eV)超薄膜的光学常数

曹健林 ¹陈星旦 ¹柳原美广 ²山本正树 ²波冈武 ²

作者单位

摘要

¹ 中国科学院长春光学精密机械研究所

² 日本东北大学科学计测研究所

用反射率方法测定了软X射线波段(60～900eV)超薄膜的光学常数.反射率测量在同步辐射光束线上完成.对测量数据做非线性最小二乘曲线拟合得出光学常数,同时还精密确定了超薄膜的膜厚与薄膜与基板表面粗度的均方根值.文中介绍了样品制备、反射率测量、数据解析及误差分析的方法,并给出了C、Au、Pt超薄膜的相应结果.

软X射线超薄膜反射率

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光学学报

1990, 10(8): 706