波长编码光纤位置传感器具有对光强变化不敏感、稳定性高等优点, 为了进一步简化结构和降低成本, 提出了一种新型波长编码光纤位置传感器。使用10阶二进制伪随机m序列作为传感器的编码基准, 以100 μm的栅距制作编码标尺并搭建传感系统,由工作通道的输出电压解调绝对位置信息; 同时, 阵列波导光栅(AWG)作为解复用器与多个光电二极管组成多波长检测系统, 简化了传感系统并提高了响应速度。采用单向定位精度为6 μm的步进电机作为位移量标准, 验证了设计分辨率为100 μm的传感器方案可行性。

提出了一种扫描白光干涉法, 用于获取LCOS芯片的相位调制特性曲线并对其进行相位校准, 而且实现了对LCOS芯片建立的相位光栅的像素级相位分析.将补偿玻璃平板紧贴于参考镜处, 克服了白光短相干长度的限制, 提高了干涉条纹间的对比度.利用Morlet小波变换法求取白光干涉信号包络曲线的峰值点进行相位值重构, 实现了0.01π的相位测量精度, 同时保证了横向分辨率为0.79 μm.利用Logistics函数对相位调制幅度为2π的二元光栅相位轮廓进行拟合, 得到其相位回程区宽度为11.49 μm.小像素LCOS芯片构建的闪耀光栅存在相位线性增长区和相位回程区.周期为40 μm的闪耀光栅相位回程区宽度为8.81 μm, 其衍射效率为71.9%.对不同周期的闪耀光栅的相位轮廓进行分析, 结果表明：闪耀光栅的周期越小, 相位回程区相对宽度越大, 衍射效率降低.