通过在石英玻璃的抛光过程中引入α-Al2O3颗粒,对抛光过程中石英工件表面产生的划痕类型和收尾阶段不同粒径杂质颗粒产生的划痕长度进行分析,同时研究了抛光液质量分数和抛光盘结构对石英玻璃抛光质量的影响。结果表明:杂质颗粒需要盘面提供足够大的支撑力才能在工件表面产生划痕,而杂质颗粒所受盘面的支撑力大小取决于其位置高度和共同参与受力的基质颗粒数量;杂质颗粒的位置高度很难掌控,但在相同工艺条件下,使用质量分数为6%的抛光粉和具有多微孔结构的沥青抛光盘可以有效降低划痕的产生概率,并且不会导致抛光表面粗糙度变差或过度影响抛光效率,对实际加工生产有指导意义。

为了抑制抛光粉纳米颗粒的团聚, 改善抛光液的性能, 使光学玻璃获得更高的抛光速率与更低的表面粗糙度, 在氧化铈抛光液中添加阴离子表面活性剂梅迪兰, 研究了梅迪兰质量分数对抛光液中粒子粒径、分散性以及材料去除率和抛光后光学玻璃表面粗糙度的影响。结果表明: 微量梅迪兰能显著改善抛光液中粒子的分散性, 抑制纳米粒子的团聚, 提高抛光液的质量; 当梅迪兰质量分数为0~0.32%时, 随着质量分数增大, 化学机械抛光速率先增大后减小, 当质量分数为0.26%时达到最大值122 nm/min; 玻璃的表面粗糙度随着梅迪兰质量分数增加而先减小后增大, 在质量分数为0.13%时达到最小值0.928 nm。