针对激光在传输过程中的光能损失，本文根据光学薄膜理论，设计制备了减反射膜和抗激光的高反射膜，并对激光膜的镀膜材料、膜系设计、沉积工艺及离子辅助沉积等参数进行了深入研究。研究结果表明，制备的减反膜的反射率＜02%，激光以25°～65°入射时高反射膜的反射率＞997%。对50 μm光纤和K9玻璃镀膜前后的输出功率测试显示多模光纤的功率平均提高了50%，而K9玻璃的反射功率提高到9985%; 另外，制备的光纤激光器光学膜有效地提高了激光损伤阈值，解决了低温冷镀的膜层牢固性问题。
真空镀膜 减反膜 高反膜 多模光纤 vacuum coating antireflective coating high reflective film multi-mode fiber
根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求，研究并选择了合适的薄膜材料；采用电子束真空镀膜加以离子辅助沉积系统，利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计。通过调整镀膜工艺参数并采用光控与晶控同时监控的方法，减少了膜厚控制误差，成功地在多组镜片上镀制了宽带增透膜。测试试验显示，制备的膜层在400~700 nm波段的平均反射率＜05%，而且颜色不失真，膜层牢固，抗腐蚀效果较好，满足医用光学仪器的使用要求。
三维腹腔镜 光学增透膜 真空镀膜 离子辅助沉积 three-dimensional laparoscopy optical anti-reflection film vacuum evaporation coating ion assistant deposition
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 中山火炬职业技术学院光电工程系, 广东 中山 528436
针对军用光电仪器对激光致盲**的防护要求，选取Si和YbF3，ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上，采用电子束及离子辅助沉积技术，制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护，同时对3～5 μm的波段具有高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究；对YbF3在不同的材料组合中的沉积工艺进行了优化；解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和防护器件于一体，可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化；光谱分析和环境测试的结果表明，各项指标满足使用要求。
薄膜 激光防护 离子辅助沉积 红外减反膜
