1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 中山火炬职业技术学院光电工程系, 广东 中山 528436
针对军用光电仪器对激光致盲**的防护要求，选取Si和YbF3，ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上，采用电子束及离子辅助沉积技术，制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护，同时对3～5 μm的波段具有高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究；对YbF3在不同的材料组合中的沉积工艺进行了优化；解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和防护器件于一体，可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化；光谱分析和环境测试的结果表明，各项指标满足使用要求。
薄膜 激光防护 离子辅助沉积 红外减反膜
