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同名作者【梅芳】论文列表

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器件制备技术及器件物理

ZnO薄膜离子注入改性的研究进展

薛书文 ^*梅芳肖世发黄子康莫东

作者单位

摘要

湛江师范学院物理系,广东湛江 524048

ZnO是一种在短波长光电器件领域有巨大应用价值的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,离子注入是常用的半导体掺杂技术,文章综述了国内外近年来离子注入技术在ZnO的n、p型掺杂等方面的研究进展。

氧化锌离子注入掺杂 ZnO ion implantation doping

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液晶与显示

2009, 24(3): 367

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