提出了一种基于条纹调制度分析的位相去包裹新算法。该算法用于三维测量中位相图的去包裹处理,取得了好的实验结果。它同样适用于激光干涉条纹的处理。
条纹分析 位相去包裹 图像处理
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院高能物理研究所北京国家同步辐射实验室, 北京 100039
3 复旦大学分析测试中心, 上海 200433
详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验、分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，井进行了分析.
软X射线位相光栅 多层膜 衍射特性
微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜,计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。
软X光光栅 微分理论 软X激光输出镜
通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶Ka线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20 nm附近的正入射反射率接近10%。
小角衍射 软X射线 多层膜
