中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
介绍了软X射线多层膜分束镜的制备, 采用腐蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Mo/Si多层膜分束镜。
软X射线多层膜 分束镜 腐蚀 脱膜
中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜中心,上海 201800
利用标量区衍射理论分析了正交二元矩形软Ｘ射线衍射光栅的光学特性，给出了理论设计的初步结果。
衍射光栅 标量区 软X射线
报道了对45°入射角高反的13.1 nm软X射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的软X射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法, 获得了26.2%的实测反射率, 该反射率已达到理论反射率的70%。
软X射线多层膜 反射率 反射率测量
讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型,具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系,修正了文献中的评估方法,并建立了新的定性评估包含不连续金属膜层的软X射线多层膜光学特性分析模型。
软X射线多层膜 不连续金属薄膜 反射率
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
在矩形光栅上镀制软Ｘ射线多层膜，得到多层膜光栅组合式结构。报道用CuKα线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用Ｘ射线运动学理论进行了理论分析，得到两个衍射条件，分别对应于决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理，发现光栅级效率受多层膜反射调制。对镜面反射扫描、样品扫描、探测器扫描不同情况下各衍射峰峰位和强度的实验值和理论进行了比较，两者符合得很好。
CuKα射线 多层膜光栅 衍射特性
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院高能物理研究所北京国家同步辐射实验室, 北京 100039
3 复旦大学分析测试中心, 上海 200433
详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验、分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，井进行了分析.
软X射线位相光栅 多层膜 衍射特性
微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜,计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。
软X光光栅 微分理论 软X激光输出镜
本文采用标量区近似理论设计软X激光反射输出镜,分析其衍射特性,对影响输出效率的因素进行了讨论和分析。
软X激光输出镜 软X光光栅 多层膜 近似理论
