1 西华师范大学 物理与电子信息学院， 南充 637002
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心， 绵阳 621900
3 绵阳师范学院 化学与化学工程学院，绵阳 621000
为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计，利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算，得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系。结果表明，Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性；除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外)，其它波长都有较高的反射率；U作为吸收层材料，在相当大的波段范围内，与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率。这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义。
薄膜 软X射线多层膜 多层膜设计 间隔层材料 thin films soft X-ray multilayer multilayer design spacing layer material
1 中科院上海技术物理研究所光电中心,上海,200083
2 中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,130022
叙述用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作.简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果.
软X射线多层膜 离子束溅射 反射率计 soft X-ray multilayer ion-beam-sputtering reflectometer
中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜中心, 上海 201800
从理论和实验结果两方面探讨了基底表面和多层膜膜面的均方根粗糙度对软X射线多层膜的光学特性的影响。 指出了分析表面粗糙度最合适的方法和对表面粗糙度的着重研究方向。
粗糙度 软X射线多层膜 反射率
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
介绍了软X射线多层膜分束镜的制备, 采用腐蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Mo/Si多层膜分束镜。
软X射线多层膜 分束镜 腐蚀 脱膜
中国科学院上海光机所光学薄膜中心,上海 201800
利用薄膜光学理论及材料在软X射线波段的原子散射因子,设计了大批量的软X射线多层膜的计算程序,对常用材料的膜系配对进行了优化设计,给出的结果对软X射线整个波段内的多层膜膜系的选择有一定的指导意义。
软X射线多层膜 反射率 多层膜设计
中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心,上海 201800
对各国进行的软X射线多层膜研究所取得的最新成果给出了比较系统全面的评述。首次给出了文献报道的软x射线全波段的各种膜系实测正入射反射率的统计结果。
软X射线多层膜 薄膜沉积 软X射线多层膜反射率
报道了对45°入射角高反的13.1 nm软X射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的软X射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法, 获得了26.2%的实测反射率, 该反射率已达到理论反射率的70%。
软X射线多层膜 反射率 反射率测量
讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型,具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系,修正了文献中的评估方法,并建立了新的定性评估包含不连续金属膜层的软X射线多层膜光学特性分析模型。
软X射线多层膜 不连续金属薄膜 反射率
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室, 长春130022
介绍在研制软X光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分X光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能，并讨论了膜厚控制误差、表(界)面粗糙度等对性能的影响。
软X射线多层膜 激光反射镜 膜系设计和模拟计算
