为了测量控机床结构件、微加工工作台的微小变形量, 设计了一种高精度弓型光纤布拉格光栅(FBG)微位移传感器。将光纤布拉格光栅的栅区部分粘贴在弓型上下壁处, 当弓形件发生变形时, 可测出上下壁的应变值, 从而测得位移值并进行温度解耦。实验结果表明, 在量程为1 mm时, 传感器的灵敏度为2.02 pm/μm, 线性相关系数为0998 3, 实验的迟滞误差为4.08%, 重复性误差为4.08%。在温度补偿实验中可以看出, 当温度上升1 ℃, 波长漂移量不到1 pm。类似于弓型结构衍生出一种半弓型结构的位移传感器。两类传感器相比, 弓型传感器的温度灵敏度比半弓型传感器小0001 5 pm/μm, 温度补偿效果更好; 但半弓型传感器的线性度为0.4%, 线性度比弓型传感器好。两种传感器均满足测量值稳定可靠、精度高、抗电磁干扰能力强, 温度不敏感等要求。