蒋锴 1,*李沛旭 2张新 2汤庆敏 2[ ... ]徐现刚 1,2
作者单位
摘要
1 晶体材料国家重点实验室(山东大学), 济南 250100
2 山东华光光电子有限公司, 济南 250101
为改善940 nm大功率InGaAs/GaAs半导体激光器输出特性,通过模拟计算了非对称波导层及限制层结构的光场分布,并参照模拟制作了非对称结构半导体激光器器件。采用低压金属有机物气相沉积(LP-MOCVD)生长技术,获得了低内吸收系数的高质量外延材料,通过实验数据计算得到激光器材料内吸收系数仅为0.44 mm-1。进而通过管芯工艺制作了条宽100 μm、腔长2000 μm的940 nm半导体激光器器件。25 ℃室温10 A直流连续(CW)测试镀膜后器件阈值电流251 mA,斜率效率1.22 W/A,最大输出功率达到9.6 W,最大光电转化效率超过70%。
量子阱激光器 大功率 非对称结构 金属有机物化学气相沉积 quantum well laser high power asymmetric structure InGaAs/GaAs InGaAs/GaAs metal organic chemical vapor deposition 
强激光与粒子束
2014, 26(5): 051022
蒋锴 1,*李沛旭 2沈燕 2张新 2[ ... ]徐现刚 1
作者单位
摘要
1 山东大学晶体材料国家重点实验室, 山东 济南 250199
2 山东华光光电子有限公司, 山东 济南 250101
为改善宽面940 nm半导体激光二极管(LD)的输出功率及光电转换效率(WPE),设计并制作了一种包含梯度渐变折射率(GRIN)结构的新型量子阱激光器。通过二维自洽软件模拟计算了新结构激光器与传统分别限制结构(SCH)激光器的能带结构,结果表明新的激光器结构能够显著消除各异质结间的过渡势垒。通过低压金属有机物化学气相沉积(LP-MOCVD)的方法生长了高质量激光器外延材料。制成后的100 μm条宽、 2000 μm腔长的激光器器件在室温25 ℃下经过连续(CW)电流测试发现,梯度渐变折射率结构激光器较分别限制结构激光器在10 A电流下电压约低0.07 V。通过结构与生长优化,激光器内吸收系数从0.52 cm-1降至0.43 cm-1,最大光电转换效率由69%提升至76%。最终制成的940 nm半导体激光器器件室温25 ℃下输出功率10.0 W(10 A电流时),斜率效率高达1.24 W/A。
激光器 激光二极管 梯度渐变折射率结构 高功率 高光电转换效率 
中国激光
2014, 41(4): 0402003
李沛旭 1,2,*蒋锴 1,2张新 1汤庆敏 1[ ... ]徐现刚 1,2
作者单位
摘要
1 山东华光光电子有限公司, 山东 济南 250101
2 山东大学晶体材料国家重点实验室, 山东 济南 250100
针对半导体激光器的能量损耗情况,设计优化了半导体激光器的结构,改进了材料的金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长条件。采用低压MOCVD外延技术生长了GaAsP/GaInP/AlGaInP应变量子阱大光腔结构,进而设计制作了808 nm大功率连续激光器芯片。25 ℃下,当输入电流10 A时,输出功率超过11.5 W,最大电光转换效率约62%。对5 W输出功率的808 nm激光器进行了老化实验,1000 h衰减小于2%。
半导体激光器 电光转换效率 低压金属有机化学气相沉积 
光学学报
2011, 31(s1): s100308
Peixu Li 1,2Kai Jiang 1,2Shuqiang Li 1,2Wei Xia 1,2[ ... ]Xiangang Xu 1,2
Author Affiliations
Abstract
1 State Key Laboratory of Crystal Material, Shandong University, Ji'nan 250100, China
2 Shandong Huaguang Optoelectronics Co., Ltd., Ji'nan 250101, China
Asymmetric broad-waveguide separate-confinement heterostructure (BW-SCH) quantum well (QW) laser diode emitting at 808 nm is analyzed and designed theoretically. The dependence of the optical field distribution, vertical far-field angle, and internal loss on different thicknesses of the upper waveguide layer is calculated and analyzed. Calculated results show that when the thicknesses of the lower and upper waveguide layers are 0.45 and 0.3 \mu m, respectively, for the devices with 100-\mu m-wide stripe and 1000-\mu m-long cavity, an output power of 7.6 W at 8 A, a vertical far-field angle of 37°, a slope efficiency of 1.32 W/A, and a threshold current of 189 mA can be obtained.
非对称宽波导分别限制结构 光场分布 808nm量子阱激光器 140.2020 Diode lasers 140.5960 Semiconductor lasers 230.5590 Quantum-well, -wire and -dot devices 
Chinese Optics Letters
2010, 8(5): 493
夏伟 1,2,*马德营 1王翎 1李树强 1,2[ ... ]徐现刚 1,2
作者单位
摘要
1 山东大学信息科学与工程学院晶体材料国家重点实验室, 山东 济南 250100
2 山东华光光电子有限公司, 山东 济南 250101
利用石英闭管法对金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长的应变量子阱(MQW)650 nm AlGaInP/GaInP材料进行选择区域扩Zn,使扩Zn区域的光致发光(PL)谱的峰值蓝移达175 meV,形成对650 nm波长激光器的高透腔面,有益于减少激光器腔面光吸收,增加了激光器退化的光学灾变损伤(COD)阈值。后工艺制作出条宽100 μm,腔长1 mm的增益导引激光器,实现了红光半导体激光器的大功率输出。激光器阈值电流为382 mA,在2.28 A工作电流时达到光学灾变损伤阈值,最大连续输出光功率1.55 W,外微分量子效率达到0.82 W/A。
激光器 红光半导体激光器 大功率 高透腔面 
中国激光
2007, 34(9): 1182

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