1 中国科学院南京天文仪器研制中心, 江苏 南京 210042
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
3 中国科学院南京中科天文仪器有限公司, 江苏 南京 210042
离轴凸双曲面的加工和检测是非球面加工检测中的一个比较困难的问题。结合一块口径φ230mm、离轴量226mm的凸双曲面镜, 提出了离轴凸双曲面镜单修加工以及采用离轴Hindle球检测偏转角度的离轴凸双曲面镜这一方案。给出了单修加工工艺, 并解决了检测光路的搭建难点。加工完成的离轴凸双曲面的面形精度RMS优于λ/50(λ=632.8nm)。结果表明此方案是可行的, 具有重要的现实意义。
应用光学 离轴凸双曲面 单修加工 偏转角度 离轴Hindle球 检测 applied optics off-axis convex hyperboloidal mirror unit manufacture deflection angle off-axis Hindle ball test
1 中国科学院研究生院, 北京 100039
2 中国科学院南京天文仪器中心, 南京 210042
3 南京中科天文仪器有限公司, 南京 210042
在用刀口检验凸双曲面反射镜时,一般采用传统的Hindle球检测法,但是在许多仪器中,需要曲面反射镜全口径使用,因此,Hindle球检测法是不合适的。此外,在很多情况下,刀口到待检非球面的距离很长,从而降低了刀口检验精度。为了解决这些问题,结合口径Φ=120mm的凸双曲面的检测,在分析了传统检验方法的基础上,提出了有限距离球面波入射的凸非球面透射补偿检验方法。从设计结果上看,它缩短了刀口到待检非球面的距离,获得高精度补偿。实践表明,这种方法不仅能够提高加工效率,而且提高了加工精度,实际加工完成后,这块凸双曲面的RMS值达到了λ/60。
应用光学 凸双曲面检验 透镜组补偿检验 三级像差理论 光学设计 applied optics testing of the convex hyperboloid surface lens for compensating test third-order aberration theory optical design
