1 合肥工业大学光电技术研究院, 安徽 合肥 230009
2 特种显示与成像技术安徽省技术创新中心, 安徽 合肥 230009
大相对口径离轴凸抛物面镜的加工检测是光学加工检测的重要挑战之一。结合一块口径 为φ100 mm、离轴量为87.5 mm、曲率半径为500 mm的大相对口径离轴凸抛物镜,计算出母镜加工修磨量,并提出 一种工艺球面补偿检测和离轴Hindle球检测相结合的检测方法,有效地避免了单独使用一种检测方法的缺陷,节约了 加工成本并进一步提高了检测精度。最终加工完成的大相对口径离轴凸抛物面镜精度均方根(RMS)优于λ/40(λ=632.8 nm), 表明该方法具有可行性,可广泛用于实际生产加工中。
几何光学 离轴凸抛物面 工艺球面补偿检测 离轴Hindle球检测 高精度检测 geometric optics off-axis convex paraboloid process spherical compensation detection off-axis Hindle ball detection high-precision inspection
1 中国科学院南京天文仪器研制中心, 江苏 南京 210042
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
3 中国科学院南京中科天文仪器有限公司, 江苏 南京 210042
离轴凸双曲面的加工和检测是非球面加工检测中的一个比较困难的问题。结合一块口径φ230mm、离轴量226mm的凸双曲面镜, 提出了离轴凸双曲面镜单修加工以及采用离轴Hindle球检测偏转角度的离轴凸双曲面镜这一方案。给出了单修加工工艺, 并解决了检测光路的搭建难点。加工完成的离轴凸双曲面的面形精度RMS优于λ/50(λ=632.8nm)。结果表明此方案是可行的, 具有重要的现实意义。
应用光学 离轴凸双曲面 单修加工 偏转角度 离轴Hindle球 检测 applied optics off-axis convex hyperboloidal mirror unit manufacture deflection angle off-axis Hindle ball test
