作者单位
摘要
北京大学 物理学院重离子物理研究所,北京 100871
用锌铝合金靶在苏打玻璃上制备大面积AZO半导体透明薄膜,降低了靶材费用。实验中采用靶体旋转的直流磁控溅射工艺,提高了靶材利用率,实现了大面积均匀镀膜,并能获得定向生长的薄膜。文章介绍了采用该方法制备大面积薄膜的实验,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等多种分析方法对大面积薄膜的结构、形貌、电学性能及光学性能进行分析,实验结果表明,采用合金靶做靶源,氩作工作气体,控制好氧气分压,大功率溅射可以获得定向性好、致密、均匀、透射率高、电阻率低的优质大面积(300 mm×300 mm)AZO薄膜。
反应溅射 大面积薄膜 ZnO ZnO ZnO:Al ZnO:Al Reactive sputtering Large area thin film 
光谱学与光谱分析
2009, 29(3): 698
作者单位
摘要
北京大学,重离子物理研究所,北京,100871
基于直流电子枪-超导加速腔(DC-SC)光阴极注入器样机的初步实验结果,北京大学提出了新的注入器的改进设计.新注入器核心结构包括皮尔斯枪和3+1/2超导腔.文章给出了它们的详细结构参数,然后采用程序,对注入器的束流动力学进行了模拟.结果发现:新注入器可以提供具有高束流品质、高平均流强的电子束,束团的电荷量100 pC,横向发射度低于2 mm·mrad,脉宽5 ps,rms束斑可达0.5 mm,重复频率81.25 MHz;也可以提供电荷量为300 pC低重复频率的高峰值流强的电子束,其横向发射度小于3 mm·mrad,脉宽约为9 ps,以满足北京大学自由电子激光(PKU-FEL)实验平台的要求.
超导加速腔 注入器 发射度 自由电子激光 
强激光与粒子束
2006, 18(4): 653
作者单位
摘要
1 北京大学重离子物理研究所,北京,100871
2 中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川,绵阳,621900
阐述了2-cell Telsa腔的设计.用3维程序HFSS分析了其高阶模的特点,给出了高阶模的主要参数频率、品质因数、分路阻抗以及模式的电场分布,并且π模的电场分布与Superfish的模拟结果相比较,两者是一致的.最后,简要分析了各高阶模对电子加速的影响,分析表明高阶模降低了电子加速效率和束流的稳定性.
2-cell腔 高阶模 电子加速 2-cell cavity HOMs HFSS HFSS Accelerating electron 
强激光与粒子束
2005, 17(11): 1735

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