1 中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术重点实验室，上海 201800
2 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室，上海 201800
3 中国科学院大学，北京 100049
4 中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学工程部（筹），上海 201800
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外（LPP-EUV）光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展，包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。现阶段研制的锡液滴发生器，在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径约为40 μm，间距约为230 μm，工作时长接近5 h。锡液滴在10 s短时间内，竖直和水平方向的位置不稳定性分别约为2 μm和1 μm。未来锡液滴的可用性性能（如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性）还需进一步提升。
极紫外 光刻光源 液滴发生器 锡液滴 激光与光电子学进展
2023, 60(23): 2314001
Author Affiliations
Abstract
1 Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China
2 School of Physical Sciences, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
3 School of Electronic and Information Engineering, Beihang University, Beijing 100191, China
4 Songshan Lake Materials Laboratory, Dongguan 523808, China
5 CAS Center for Excellence in Ultra-intense Laser Science, Shanghai 201800, China
We propose a spatial diffraction diagnostic method via inserting a millimeter-gap double slit into the collimated terahertz beam to monitor the minute variation of the terahertz beam in strong-field terahertz sources, which is difficult to be resolved in conventional terahertz imaging systems. To verify the method, we intentionally fabricate tiny variations of the terahertz beam through tuning the iris for the infrared pumping beam before the tilted-pulse-front pumping setups. The phenomena can be well explained by the theory based on the tilted-pulse-front technique and terahertz diffraction.
spatial diffraction diagnostic method strong-field terahertz sources tilted-pulse-front pumping terahertz diffraction Chinese Optics Letters
2021, 19(5): 051901
1 北京航空航天大学电子信息工程学院, 北京 100083
2 北京航空航天大学微波感知与安防应用北京市重点实验室, 北京 100191
3 中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室(筹), 北京 100190
4 中国科学院大学物理科学学院, 北京 100049
5 松山湖材料实验室, 广东 东莞 523808
国家自然科学基金、中国科学院战略重点研究计划、北京航空航天大学卓越和青年拔尖人才支持计划;
太赫兹技术 强太赫兹辐射脉冲源 铌酸锂 倾斜波前技术 飞秒激光
