光学 精密工程
2022, 30(20): 2467
1 金陵科技学院 视光工程系, 江苏 南京 211169
2 南京理工大学 电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
3 江苏北方湖光光电有限公司, 江苏 无锡 214035
为了完成全谱段成像光谱仪的地面辐射标定, 设计了一种大口径离轴反射式太阳模拟系统, 用于在实验室环境下模拟空间环境中的太阳辐射。阐述了太阳模拟系统的光学系统参数的计算过程, 并运用Lighttools软件完成了光学系统的建模和仿真, 根据光学系统的布局和系统的热负荷分布, 给出了风冷系统的设计方案, 并运用ICEPAK软件完成了散热系统的仿真验证。测试了太阳模拟系统的各项参数, 结果表明: 在满足系统散热要求的情况下, 最大辐照度达到1.17个太阳常数, 辐照不均匀度在辐照面Φ200 mm范围内为±1.61%, 在辐照面Φ400 mm范围内为±3.28%。
光学设计 太阳模拟系统 辐照度 不均匀度 optical design solar simulator irradiance non uniformity
1 沈阳航空航天大学, 沈阳 110136
2 沈阳飞机设计研究所， 沈阳 110034
3 沈阳航天新乐有限责任公司， 沈阳 110031
提出一种四指标模型判断无人平台的自主能力水平。首先,从无人平台的“人和平台交互能力”、“态势感知能力”、“环境适应能力”和“规划决策能力”四方面建立指标模型；其次，根据每类指标对无人平台自主能力分级的影响程度不同，赋予相应的分值；然后，结合模糊数学中的综合评判原理，量化每类指标；最后，取每类指标量化值和的平均值代表无人平台的自主能力等级。通过运用此新模型对“全球鹰”无人机、“红旗HQ3”无人车和“斯巴达勇士”无人船的自主能力分级，结果表明此四指标模型的分级指标科学全面，量化方法简单，直观性强。
无人平台 自主分级 四指标模型 综合评判 unmanned platform autonomy level four-indicator model comprehensive evaluation
广东工业大学物理与光电工程学院, 广东 广州 510006
基于351 nm XeF激光大面积投影成像光刻系统，通过对其光学系统包括光学照明系统和折叠投影系统进行光学性能测试。由激光经过柱面透镜、微透镜阵列均束器以及投影折叠物镜之后产生的能量及光束质量变化，将准分子激光光束均匀性评价指标部分运用到光学系统的评价之中，得到光学系统在不同关键位置的能量分布曲线以及平顶因子关系图，表明微透镜阵列均束器虽保证了整个光学系统各处光斑的均匀性，但衍射却造成了能量利用率的降低。同时，通过对印制电路板(PCB)和玻璃(ITO)进行曝光和显影实验，表明该双远心共焦投影光学系统，只要控制使均匀输出的能量符合曝光剂量，就能够满足分辨率的要求。
成像系统 准分子激光 光刻 紫外激光投影成像 光束均匀性 平顶因子 激光与光电子学进展
2012, 49(7): 072201
哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心, 黑龙江 哈尔滨 150001
提出一种偏振激光干涉仪的误差校正方法，可实时地对干涉信号的非线性误差进行校正。由于单频激光干涉仪中的光电元件存在的参数误差和位置误差以及外界环境因素的影响，使得输出的4路干涉信号的正交性受到破坏，产生了非线性误差。基于椭圆匹配原理，给出了非线性误差的校正算法和判据。对干涉信号的参数特征进行实时地统计与估值，并借助于对干涉条纹实现16384点细分，从而得到皮米级的位移测量分辨力。搭建了零差偏振激光干涉仪及振动实验装置，对校正前后的信号进行了对比实验。结果表明，经过非线性校正干涉仪信噪比提高超过30 dB，测量的分辨力优于10 pm/Hz1/2。
光学测量 误差校正 椭圆匹配 偏振干涉仪 非线性误差
