1 中国船舶重工集团公司第七一〇研究所, 湖北 宜昌 443003
2 国防科技工业弱磁一级计量站, 湖北 宜昌 443003
采取对激光左旋σ+偏振态和右旋σ-偏振态周期性调制产生共振的方法, 实现对Cs原子拉莫尔进动频率的检测, 取代了采用射频线圈产生共振的方法而实现了对磁场的全光检测, 从而避免了传统光泵原子磁力仪信号串扰的问题。展示了该方法对原子磁矩在磁场中进动频率的检测原理, 分析了该模式下的信号特征, 根据信号特征设计了对拉莫尔进动信号的检测和处理系统。同相信号显示为洛伦兹线形; 正交信号显示为色散线形, 在共振频率处大小为0; 相位信号显示为连续单调递减函数, 在共振频率处大小为0。正交信号和相位信号均可以用来锁定共振频率点, 实现磁场测量。
原子磁力仪 拉莫尔频率 全光检测 atomic magnetometer bell-bloom bell-bloom Larmor frequency all-optical detection 红外与激光工程
2018, 47(9): 0920001
1 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术国家重点实验室,上海 200083
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
3 中国科学院大学,北京 100049
采用ICP刻蚀(inductively coupled plasma etching)工艺制备了深台面n-on-p结构的可响应到2.4 μm的延伸波长8×1元线列InGaAs探测器.器件表面采用ICP源激发的N2等离子体进行处理,然后再使用ICPCVD(inductively coupled plasma chemical vapor deposition)沉积一层SiNx薄膜的钝化工艺.不同面积光敏元器件的电流—电压特性分析显示器件在常温和低温下侧面电流均得到有效抑制,激活能分析显示了器件优异的暗电流特性,在-10 mV偏压下,在200 K和300 K温度下暗电流密度分别为94.2 nA/cm2和5.5×10-4 A/cm2.
暗电流 钝化 InGaAs InGaAs ICPCVD ICPCVD dark current n-on-p n-on-p passivation
