作者单位
摘要
汉江精密机床研究所
本文叙述了在光栅光刻工艺的基础上,采用一些特殊的措施,刻制了任意条纹的圆分度光栅,带四倍频的圆分度光栅及带绝对零位的圆分度光栅.
光学学报
1983, 3(5): 466
作者单位
摘要
汉江精密机床研究所
本文提出对传统的迈克尔逊干涉仪作改进设计,使干涉仪的灵敏度及测量精度有所提高。这是使迈克尔逊干涉仪在同样条件下提高灵敏度及测量精度的一条途径.
光学学报
1982, 2(6): 573
作者单位
摘要
汉江精密机床研究所
本文叙述了目前脉冲式零位光栅在定位精度方面,理论上存在的不足之处,提出了一种新型的零位光栅,即差分式零位光栅。
光学学报
1981, 1(5): 475

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