作者单位
摘要
1 安徽大学电气工程与自动化学院, 安徽合肥 230601
2 安徽大学电子信息工程学院, 安徽合肥 230601
3 信息材料与智能感知安徽省实验室, 安徽合肥 230601
4 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽合肥 230022
为改善以往图案化透镜加工工艺复杂、制造技术昂贵、图案设计方面有限制等缺点, 本文将飞秒激光双光子聚合加工技术应用于图案化微透镜的快速、高精度加工。通过球面波因子的变形设计了不同图案的微透镜, 利用飞秒激光双光子聚合加工技术在光刻胶样品中加工出图案化的微透镜, 然后将光刻胶样品置于显影液中去除未聚合部分, 得到图案化微透镜, 最后对图案化微透镜进行成像测试和光强均一化分析。将 LED光源分别置于不同图案微透镜的下方, 光线透过图案化微透镜成功聚焦出光强一致的焦点图案。实验结果表明, 使用飞秒激光双光子聚合加工可以实现灵活可控的 3D图案化微透镜结构的加工, 采用加工功率为 7 mW, 曝光时间为 2 ms, 扫描 xy步距为 0. 5 μm, z步距为 0. 8~1. 5 μm, 不仅保证了微透镜结构表面光滑, 而且实现了微透镜的快速加工。该技术在加工光学超材料、光学微器件、集成光学器件等方面具有广阔的应用前景。
激光加工 飞秒激光 双光子聚合 微透镜 光刻胶 laser fabrication femtosecond laser two-photon polymerization microlens photoresist 
光学 精密工程
2020, 28(12): 2629

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