1 华中科技大学机械科学与工程学院， 湖北 武汉 430074
2 武汉光电国家实验室(筹)， 湖北 武汉 430074
3 北京航空制造工程研究所， 北京 100024
针对传统微泵结构复杂、制备困难等不足，提出了一种新型的基于激光冲击波力学效应的微泵驱动方法，使用该方法设计的微泵结构简单、易于制造、成本低，有利于微型化及与微机电系统（MEMS）集成。通过研究激光冲击波的力学模型，设计了无阀型微泵，并计算出其耦合模态。验证了该驱动方法的可行性；通过流固耦合仿真研究了激光的频率、占空比、功率密度、光斑直径等参数对微泵流量的影响，并进一步分析了流量的稳定性。研究结果表明，功率密度和光斑直径是影响流量的主要因素，占空比为0.6时微泵流量最大，微泵稳定工作后各脉冲流量相差不超过5%。
光学制造 激光冲击波驱动 微泵 流固耦合 激光参数
