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一种表面粗糙度非接触快速测量的新方法
胡克平 1李田泽 2
作者单位
摘要
1 山东淄博第二卫校, 淄博 255012
2 山东工程学院,淄博 255012
照射在样品表面的激光束随着表面粗糙度的不同，反射光密度分布将不同；表面粗糙度增大时，反射光密度将被扩展。本文根据这一原理，提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学法。通过测量反射光密度分布曲线的半宽度，由高斯曲线系数的标准差计算表面粗糙度。文中给出了测量结果。
激光 表面粗糙度 高斯曲线 光学探测器 计算机控制 反射光密度分布 
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激光与光电子学进展
1999, 36(7): 26
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