1 中国科学院光电研究院光电工程部, 北京 100094
2 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094
3 中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100190
4 熊猫电子集团有限公司, 江苏 南京 210007
针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度 控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器。在此基础上分别对两种控 制器进行仿真和实验。结果表明与常规PID控制器相比, Smith-PID预估复合控制器超调量减少41%, 调节 时间减少51%。所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境。
激光技术 温度控制 Smith预估补偿 准分子激光器 laser techniques temperature control Smith prediction compensation excimer laser
1 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
2 中国科学院光电研究院, 北京 100094
设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子 激光器放电腔的温度进行实时采集、 显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。 系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法。实验结果 表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2°C;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、 调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定。因此,本系统可为激 光器的运行提供良好的温度控制环境。
激光技术 温度控制 智能PID 准分子激光器 算法 laser techniques temperature control intelligent PID excimer laser algorithm
