1 中国科学院光电研究院光电工程部, 北京 100094
2 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094
3 中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100190
4 熊猫电子集团有限公司, 江苏 南京 210007
针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度 控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器。在此基础上分别对两种控 制器进行仿真和实验。结果表明与常规PID控制器相比, Smith-PID预估复合控制器超调量减少41%, 调节 时间减少51%。所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境。
激光技术 温度控制 Smith预估补偿 准分子激光器 laser techniques temperature control Smith prediction compensation excimer laser
