1 上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系， 上海 200072
2 上海联孚新能源科技有限公司， 上海 201201
3 上海西域机电系统有限公司， 上海 200137
椭圆偏振光谱法是一种非破坏性光谱技术。为了获得微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)金刚石薄膜的最佳沉积条件，用红外 椭圆偏振光谱仪对MPCVD金刚石薄膜的红外光学性能进行了表征测量，并分析了衬底温度和反应室的压强对金刚石 薄膜的红外光学性质的影响。当甲烷浓度不变，衬底温度为750℃，反应室的压强为4.0kPa时，金刚石膜的红外椭偏光学性质达到最 佳，其折射率的平均值为2.393。研究结果表明，金刚石薄膜的光学性能与薄膜质量密切相关，同时也获得了最佳的金刚石薄膜工艺 条件。
红外椭偏 光学性能 折射率 金刚石薄膜 infrared spectroscopic ellipsometry optical properties refractive index diamond thin films
1 上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072
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采用红外椭圆偏振光谱仪对HFCVD方法所制备的不同取向金刚石薄膜的光学参数进行了测量.结果表明(001)取向金刚石薄膜具有较佳的光学质量,在红外波段基本是透明的.在2.5～12.5μm红外波长范围内,(001)取向金刚石膜的折射率和消光系数几乎不随波长的改变而变化,折射率为2.391,消光系数在10-5范围内;对于(111)取向金刚石膜,其折射率和消光系数随波长的改变有微小变化,折射率和消光系数都低于(001)取向膜.通过计算拟合得到(001)取向金刚石膜的介电常数为5.83,优于(111)取向膜.
CVD金刚石膜 红外椭圆偏振光谱 折射率 消光系数
研究了两种器件结构（共平面和三明治）对金刚石薄膜辐射探测器性能的影响。研究表明,共平面结构器件在241Am 5.5MeV a粒子辐照下的计数率、电荷收集效率、响应电流和能量分辨率等性能参数均优于三明治结构。Raman散射测试表明,造成上述结果主要是由于金刚石薄膜的成核边和生长边具有不同的微结构特征而引起。
辐射探测器 金刚石薄膜 a粒子 激光与光电子学进展
2005, 42(12): 32
