1 广东工业大学机电工程学院, 广东 广州 510006
2 南京航空航天大学机电学院, 江苏 南京 210016
3 江苏省精密与微细制造技术重点实验室, 江苏 南京 210016
可控性强的激光诱导空泡可用于科研和工程实践。阐述了激光诱导空泡中蒸气空泡及等离子空泡的产生机制，分析了其液体属性以及外界环境因素对激光诱导空泡产生过程的影响规律,介绍了激光诱导空泡技术在微电子行业、生物医学、纳米材料的制备和材料处理等领域的应用。
激光技术 激光诱导空泡 机理 应用 激光与光电子学进展
2013, 50(8): 080017
激光切割半导体晶圆具有切槽窄、非接触式加工和加工速度快等特点，但仍然存在材料重凝、热影响区较大和易产生裂纹等问题。为了解决这些问题，分析了问题的成因，并分别从激光器、光学系统和加工介质3个方面详细介绍了一些新型半导体晶圆激光切割技术，阐述其基本原理，分析其优缺点及主要应用和研究领域，为进一步研究和工业化应用提供了技术参考。
激光技术 激光切割 半导体晶圆 影响因素 激光器 laser technique laser dicing semiconductor wafer influencing factors lasers
