作者单位
摘要
长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了产生误差的原因。采用不同的监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制。最终研制的滤光膜光谱测试结果表明,3.31 μm单点透射率为93.7%,通带半峰全宽为49 nm,1~3.2 μm和3.4~5 μm波段平均透射率为0.17%,满足系统使用要求。
薄膜 拆分技术 逆向分析法 敏感度分布 窄带滤光膜 
中国激光
2017, 44(3): 0303003
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 凯里学院物理与电子工程学院, 贵州 凯里 556000
为了降低紫外固化系统光源的热辐射,根据光学薄膜理论,以HfO2、AlF3和Cr作为镀膜材料,采用反射与吸收相结合的结构,设计了紫外高反射、可见/近红外高吸收的滤光膜。通过在基底和膜系之间增镀Al膜作为过渡层,提高了薄膜的牢固性。通过优化工艺参数,研制了220~400 nm波段平均反射率为90.6%、420~2000 nm波段平均吸收率为92.4%的滤光膜。
薄膜 紫外固化系统 热辐射 过渡层 滤光膜 
中国激光
2017, 44(3): 0303002
作者单位
摘要
长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
根据户外照明系统自清洁功能的需求, 基于光学薄膜理论, 对复合膜折射率和质量配比进行了理论分析与模拟, 采用电子束共蒸发技术镀制TiO2/Al2O3复合膜, 并对其做真空退火处理.在单晶控系统中, 通过控制左右两电子枪的束流, 镀制了不同质量配比复合膜.亲水性测试和甲基橙实验表明, 复合膜中TiO2的质量配比越高, 自清洁效果越好, 但亲水性和可见光透过率会降低.对不同质量配比的复合膜进行了检测和分析, 并通过调整质量配比来优化试验方案, 结果表明, TiO2/Al2O3质量配比为9: 1时, 该薄膜既具有自清洁亲水作用, 又具较高的可见光透过率.
薄膜 户外照明灯罩 电子束共蒸发 退火 自清洁 折射率 质量比 Thin film Outdoor lighting lampshade Electron beam evaporation Annealing Self-cleaning quality Index of refraction Mass ratio 
光子学报
2016, 45(12): 1231001
作者单位
摘要
长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
红外仿真作为一种新型仿真手段,以其仿真可信度高、重复性好、实验成本低等优点在**领域得到越来越广泛的应用。为满足红外仿真系统的要求,调节红外短、中波段能量的比例,对系统中的滤波器进行研制。选择Ge和SiO作为高低折射率材料,利用Ge在可见光和近红外的吸收特性,通过叠加膜堆展宽反射带,采用TFCalc软件的变度量(variable metric)法对双波段能量调节、超宽截止带滤波器进行优化设计。并针对不同材料的特性,分别采用电子束蒸发和电阻蒸发技术,制备了相应的滤波器。通过逆向工程方法分析消光系数对透射率的影响,解决了膜系透射率偏低的问题。制备的滤波器在300~1900 nm和5500~7500 nm波段透射率小于1%,在2000~2500 nm波段平均透射率为90.6%,在3700~4800 nm波段平均透射率为35.7%,满足该系统环境测试要求。
薄膜 滤波器 膜系设计 吸收 红外仿真 
中国激光
2016, 43(5): 0507001

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