长春理工大学光电工程学院， 吉林 长春 130022
依据光学薄膜理论及光学材料的特性，结合膜系设计软件，采用拆分技术原理，实现了双面膜系的设计，解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演，通过对膜层敏感度分布的研究，分析了产生误差的原因。采用不同的监控方式，使膜系的敏感层厚度得以精准控制。最终研制的滤光膜光谱测试结果表明，3.31 μm单点透射率为93.7%，通带半峰全宽为49 nm，1~3.2 μm和3.4~5 μm波段平均透射率为0.17%，满足系统使用要求。
薄膜 拆分技术 逆向分析法 敏感度分布 窄带滤光膜
1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 华南师范大学 光电子材料与技术研究所, 广州 510631
3 京东方科技集团股份有限公司, 北京 100176
依据光学薄膜理论, 建立膜系优化评价函数, 利用软件优化膜系, 实现0°-75°入射宽光谱P光分光膜的设计.选择H4和MgF2作为高低折射率材料, 采用电子束及离子辅助沉积技术, 来制备该分光膜.通过对膜层厚度误差分析, 用晶控片单独控制相对敏感度较高的膜层, 解决了薄膜制备过程中不能精确控制膜厚误差的问题.运用逆向分析法对实验测试结果进行模拟分析, 通过改变膜厚修正因子, 使P光透射光谱曲线更加平滑.光谱测试表明P光垂直入射平均透过率为60.3%, 满足系统使用要求.
薄膜 分光膜 逆向分析法 评价函数 相对敏感度 修正因子 电子束沉积 离子辅助沉积 Thin films Beam splitter Reverse analysis Evaluation function Relative sensitivity Correction factor Electron beam deposition Ion assisted deposition
