1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 华南师范大学 光电子材料与技术研究所, 广州 510631
3 京东方科技集团股份有限公司, 北京 100176
依据光学薄膜理论, 建立膜系优化评价函数, 利用软件优化膜系, 实现0°-75°入射宽光谱P光分光膜的设计.选择H4和MgF2作为高低折射率材料, 采用电子束及离子辅助沉积技术, 来制备该分光膜.通过对膜层厚度误差分析, 用晶控片单独控制相对敏感度较高的膜层, 解决了薄膜制备过程中不能精确控制膜厚误差的问题.运用逆向分析法对实验测试结果进行模拟分析, 通过改变膜厚修正因子, 使P光透射光谱曲线更加平滑.光谱测试表明P光垂直入射平均透过率为60.3%, 满足系统使用要求.
薄膜 分光膜 逆向分析法 评价函数 相对敏感度 修正因子 电子束沉积 离子辅助沉积 Thin films Beam splitter Reverse analysis Evaluation function Relative sensitivity Correction factor Electron beam deposition Ion assisted deposition
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 华南师范大学光电子材料与技术研究所, 广东 广州 510631
激光通信作为一种通信手段，以其抗干扰能力强、保密性好、功率集中等优点，在**和民用等领域得到广泛应用。为满足激光通信系统使用要求，提高信噪比，对系统中的滤光膜进行研制。选用Ti3O5和SiO2作为镀膜材料，依据倍频设计和双波长增透原理完成了三带通、宽反射带滤光膜的设计。通过膜厚缩放比例和逆向工程方法分析膜厚累积误差，重点解决了膜厚监控误差大的问题。制备的滤光膜在532 nm 和1064 nm 处透射率大于90%，808 nm处透射率大于85%，(1550±20) nm 处透射率小于0.4%，满足该系统环境测试要求。
薄膜 滤光膜 倍频设计 双波长增透 逆向工程
