1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 华南师范大学光电子材料与技术研究所, 广东 广州 510631
激光通信作为一种通信手段，以其抗干扰能力强、保密性好、功率集中等优点，在**和民用等领域得到广泛应用。为满足激光通信系统使用要求，提高信噪比，对系统中的滤光膜进行研制。选用Ti3O5和SiO2作为镀膜材料，依据倍频设计和双波长增透原理完成了三带通、宽反射带滤光膜的设计。通过膜厚缩放比例和逆向工程方法分析膜厚累积误差，重点解决了膜厚监控误差大的问题。制备的滤光膜在532 nm 和1064 nm 处透射率大于90%，808 nm处透射率大于85%，(1550±20) nm 处透射率小于0.4%，满足该系统环境测试要求。
薄膜 滤光膜 倍频设计 双波长增透 逆向工程
