设计了一种超长焦距中波红外双视场光学系统，该系统采用二次成像结构，通过透镜轴向移动实现变焦功能。设计结果表明，该系统可以实现超长焦距600~150ｍｍ的变焦功能，且中心视场在探测器特征频率201ｐ/ｍｍ处的光学传递函数值高于0.5，接近衍射极限，能够很好地满足**侦察对远距离目标同时搜索和瞄准的要求。
超长焦距 中波红外 双视场光学系统 二次成像 super-long focal length mid-wave infrared optical system with dual field-of-view re-imaging
1 云南大学工程技术研究院，光电信息材料研究所，昆明 650091
2 昆明物理研究所，云南昆明 650223
采用溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了本征及不同 Al3＋掺杂浓度的 ZnO:Al薄膜，利用 X射线衍射(XRD)、原子力显微镜，紫外 -可见光吸收光谱及霍尔效应研究了 Al3＋掺杂浓度对 ZnO:Al薄膜结构和光电性能的影响。结果显示， ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿晶体结构，具有很高的沿 c轴的(002)择优取向， Al3＋掺杂并没有改变 ZnO的晶体结构，只是 Al取代了 Zn；掺杂前后薄膜样品均在 ZnO带边吸收的位置有较强的吸收而在可见光范围吸收较小；并且当 Al3＋掺杂浓度为 1.5%(摩尔百分比)时所获得的 ZnO:Al薄膜具有最小的电阻率，为 26 Ω.cm。
ZnO:Al薄膜 X射线衍射 紫外-可见光吸收光谱 霍尔效应 Key words：ZnO:Al thin films XRD UV-Vis Absorption spectrum electrical properties
