1 广东工业大学自动化学院, 广东 广州 510006
2 武汉大学印刷与包装系, 湖北 武汉 430072
由于衍射极限的限制，传统的光学显微镜无法获得纳米级别的分辨率。为了突破衍射极限，提出一种基于随机脉冲编码和分时复用的显微成像新方法。可以较高效地对点扩展函数模糊图像进行编码解码，重构出原图像。阐述了该方法的数学原理，并在不同稀疏度编码和不同图像帧数下，进行了仿真分析，结果表明，采用稀疏编码和1000帧左右图像，可以获得被测样品的超分辨率图像。该方法能够突破衍射极限,是一种适合活体细胞研究的有效方法。
成像系统 显微成像 超分辨 随机脉冲 编码解码 激光与光电子学进展
2016, 53(7): 071101
1 广东工业大学 自动化学院，广州 510006
2 武汉大学 微电子与信息技术研究院，武汉 430072
为了高精度测量被测物体表面3维轮廓，采用半导体激光器波数扫描干涉的方法，对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。在迈克尔逊干涉系统的参考端引入一个光楔，通过2-D傅里叶变换提取光楔干涉图像的相位，在线检测激光器输出波数变化，最后对所有时间分辨干涉图像序列进行随机采样傅里叶变换，还原被测物体表面3维轮廓。结果表明，轮廓测量精度达到±6.7nm。该方法特别适合于机械零件的质量检验。
激光技术 轮廓测量 波数扫描 半导体激光器 随机采样傅里叶变换 laser technique profile measurement wavenumber scanning diode laser random sampling Fourier transform
