1 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室,合肥 230029
2 中国科学技术大学 核科学技术学院,合肥 230029
针对太赫兹直线加速器,开发了基于EPICS分布式系统的横向截面尺寸测量系统。该系统采用束斑检测器完成束斑到光斑的转换,并通过远心镜头将光斑成像到CCD相机,完成对光斑图像的采集,之后基于ADAravis将相机采集的图像数据汇入到EPICS数据库。由于暗电流以及环境辐射的影响,在采集到的图像中会存在椒盐噪声,因此使用卷积神经网络(CNN)对图像中的椒盐噪声进行抑制,最后对图像进行高斯拟合计算出束流截面尺寸。实验结果表明,CNN可以有效地消除椒盐噪声,并且系统的分辨率达到15.8 μm,满足系统设计要求。
EPICS ADAravis 束流截面测量 机器学习 卷积神经网络 EPICS ADAravis beam profile measurement machine learning convolutional neural network 强激光与粒子束
2024, 36(3): 034004
1 华东交通大学 机电与车辆工程学院,江西 南昌 330013
2 载运工具与装备教育部重点实验室(华东交通大学),江西 南昌 330013
3 华东交通大学 轨道交通基础设施性能监测与保障国家重点实验室,江西 南昌 330013
4 南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094
条纹投影轮廓术(Fringe Projection Profilometry, FPP)由于其非接触、测量精度高等特点被广泛应用于缺陷检测、逆向工程、计算机视觉等领域中。然而,传统的FPP单次测量只能获得有限景深范围内的被测物体的三维轮廓,无法完成视场范围内不同景深的多个被测物体的同时精确测量。文中在传统FPP系统的基础上增加两面反射镜和两个三棱镜,搭建了一种镜面辅助的FPP系统。所提出的方法能将摄像机不同景深范围内的被测物体转换到同一景深范围内,从而实现不同景深的多个被测物体的三维轮廓高精度测量。实验通过6层标准石膏阶梯模型验证了景深对三维轮廓测量结果的影响;同时分别采用传统FPP和提出的FPP系统对不同景深范围内两个标准乒乓球同时进行了轮廓测量,传统FPP测得的摄像机聚焦点处和未聚焦的乒乓球的拟合半径相对误差分别为2.9%、34.3%,而镜面辅助的FPP测得的相对误差分别为2.7%、5.3%。结果表明:文中提出的方法能补偿由于景深引起的误差,从而验证了该方法在不同景深物体三维测量中的可行性。
条纹投影 轮廓测量 不同景深 镜面辅助 fringe projection profile measurement different depth of fields mirror-assisted 红外与激光工程
2022, 51(11): 20220088
1 中国计量大学 计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
2 中国运载火箭技术研究院 空间物理重点实验室,北京 100076
为了修正线激光传感器在轮廓测量中的边缘偏差,提出了一种边缘偏差修正方法。该方法通过分析边缘偏差的主要误差来源,建立一种基于曼哈顿距离和切比雪夫距离的混合去噪模型,实现杂散噪声的滤除;采用最小二乘法对线激光轮廓测量误差模型进行补偿。为了验证该方法的有效性,以量块的标称尺寸作为评价指标进行测量校准实验。实验结果表明:该修正方法对杂散噪声的滤除效果显著;其中,未经补偿的尺寸测量误差为0.43 mm,经修正方法补偿后的尺寸测量误差最小达0.04 mm,比前者降低了一个数量级。因此,该方法可有效修正边缘偏差,提高线激光传感器的轮廓测量精度。
线激光 轮廓测量 误差补偿 点云 算法 line laser profile measurement error compensation point cloud algorithm 红外与激光工程
2022, 51(4): 20210317
1 四川欧瑞特光电科技有限公司,四川 眉山 620564
2 北京北方光电有限公司,北京 100195
3 电子科技大学资源与环境学院,四川 成都 611731
针对微纳器件三维形貌快速检测及重构中的高精度和高速度难以兼得的技术难题,本文提出一种基于时域相移技术的结构光检测方法,通过空间光调制器对测量光进行调制,结合时域相移技术实现微纳器件三维形貌检测和重构。相比传统的结构光检测方法,本技术在样片轴向扫描的同时,利用空间光调制器进行相移测量,保证测量精度的同时提高测量的效率。通过对测量数据进行分析,该方法可快速实现三维形貌检测和重构,测量精度可优于10 nm。
形貌检测 微纳检测 相移技术 结构光 profile measurement micro/nano measurement phase-shift structured illumination
1 北京理工大学 光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京 100081
2 之江实验室, 浙江 杭州 310000
针对传统共焦显微技术定焦过程中扫描速度和扫描精度无法兼顾的问题, 提出了一种基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法。其将传统共焦响应曲线向前平移和向后平移指定量得到虚拟前焦和虚拟后焦信号; 然后将虚拟前、后焦信号与原始共焦信号分别相减, 并将相减结果做相加处理得到虚拟双差动曲线。虚拟双差动曲线具有大线性范围、高定焦灵敏度的特点, 在大扫描间距情况下获取表面轮廓时, 可实现样品表面轮廓的快速、高精度的定焦。仿真分析及实验结果表明, 与传统差动共焦显微成像方法相比, 虚拟双差动共焦表面轮廓测量方法可在保持高定焦精度的前提下, 将几何形貌成像速度提高2倍以上。
光学测量 虚拟双差动共焦 大线性范围 高定焦灵敏度 快速轮廓成像 optical measurement virtual double differential confocal large linear range high fixed focus sensitivity fast surface profile measurement
1 天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072
2 天津大学天津市生物医学检测技术与仪器重点实验室, 天津 300072
为了消除空间频域(SFD)成像中形貌对组织体光学特性提取精度的影响,提出了一种基于目标形貌测量的SFD成像校正方法。该方法采用相位轮廓技术获取目标的三维形貌,并对获取的SFD漫反射图像进行频率与光强校正。其中,频率校正采用基于多频查表的光学特性插值方法,入射和反射光强的校正则基于光照度定律和Minnaert模型。用基于高灵敏度锁相光子计数检测技术的单像素SFD成像系统进行实验,并用二维离散余弦变换模式的单像素成像方法获取低采样率下的目标形貌与多波长光学特性拓扑图像。实验结果表明,目标体表面形貌高度在每个像素点的误差不超过1 mm,校正后重建的吸收系数和约化散射系数分别降低了51.1个百分点和6.7个百分点。
成像系统 空间频率成像 单像素成像 形貌测量 光强及频率校正 激光与光电子学进展
2021, 58(10): 1011027
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
3 苏州维纳仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
4 苏州科技大学数理学院, 江苏 苏州 215009
菲佐激光干涉仪使用的标准球面镜头通常只能在特定波长下使用。提出了一种通过调整镜头内部透镜间隔来改变其工作波长的方法,利用该方法设计了两款可变波长标准球面镜头,口径为19.05 mm,镜头光圈系数分别为5.6和8。镜头在各目标波长下的参考波前质量均满足设计要求,并分析了公差容限以确保镜头具有可实际加工性。根据可变波长标准镜头的装调和工作原理设计了机械结构,并研制出光圈系数为8的实验镜头,测得其透射波前峰谷值在标准632.8 nm激光干涉仪下小于λ/10(λ为入射光的波长),镜头的实际加工误差在容限范围内。使用多波长激光干涉装置和实验镜头测量了同一球面元件的面形,在5种波长下测量结果基本一致,实验结果表明,可变波长标准镜头可以用于实际检测。该类镜头的研发节约了检测成本,提高了标准镜头在激光干涉测量中的利用率,该镜头具有较高的工程应用价值。
成像系统 光学设计 标准球面镜头 可变波长 菲佐干涉仪 面形测量 激光与光电子学进展
2021, 58(8): 0811004