吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室,吉林 长春 130012
选择在可见光波段具有较低吸收损耗的聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯［P(MMA-GMA)］共聚物作为波导包层材料，使用双酚A型环氧树脂作为折射率调节剂，根据材料的折射率设计了单模波导截面尺寸; 然后，采用束传播法优化设计出16信道阵列波导光栅(AWG)器件的版图结构。利用Optiwave软件模拟了AWG器件的光传输特性，结果显示，器件的信道间隔为0.845 01 nm，插入损耗小于14 dB，串扰小于-25 dB。
聚合物 阵列波导光栅 波分复用器 polymer Arrayed Waveguide Grating(AWG) wavelength division multiplexer
吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室,长春 130012
采用油酸修饰的铒镱共掺氟化镧纳米颗粒掺杂的有机-无机杂化材料做为光波导放大器的有源层，同时采用光学性质良好的甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯共聚物制作光波导的上下包层，首先说明了芯层材料不能刻蚀制备传统矩形波导的原因，其次设计了一种倒脊结构的平面光波导放大器，并采用蒸镀铝掩膜、紫外光刻和反应离子刻蚀等工艺，制备出放大器的样品，同时对样品端面进行了化学机械抛光处理，在信号光（1 550 nm）功率为1 mW的条件下，在1.9 cm长度的波导上获得了3.2 dB的相对增益.
平面光波导放大器 Yb纳米颗粒 倒脊型光波导 增益特性 Planar waveguide amplifier LaF3∶Er LaF3∶Er Yb Embedded ridge waveguide Gain characteristics
吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春130012
相对于普通的有机/无机杂化材料，侧链键合型有机/无机杂化材料能提高生色团的掺杂浓度，避免出现结晶、相分离等现象，同时生色团极化有序性的弛豫因生色团运动受阻而降低，具有较高的热稳定性.本文采用溶胶凝胶法合成了一种性能优良、稳定的侧链键合型有机/无机杂化材料，并将这种材料应用于电光调制器的电光层，利用传统的半导体工艺，采用加载条形波导结构，成功制备了马赫-曾德尔(Mach-Zehnder，M-Z)型电光调制器.测试得到电光调制器在1 550 nm波长下10 kHz的响应信号，为键合型杂化材料应用于光电器件的进一步研究打下了基础.
有机/无机杂化材料 聚合物 加载条形 电光调制器 Bonded organic-inorganic hybrid material Polymer Strip-loaded waveguide Electro-optic modulator
吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春 130012
选用价格低廉、介电性能良好、低传输损耗的聚二甲基硅氧烷作为波导的包层材料，旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯作为芯层，设计并制备了一种倒脊形聚合物波导马赫-曾德尔电光调制器及共面波导行波电极，获得了调制器的调制信号响应.针对SF6气体刻蚀聚二甲基硅氧烷的再淀积现象，提出了采用SF6和O2的混合气体对聚二甲基硅氧烷进行反应离子刻蚀的方法，发现当SF6∶O2流量比为50 sccm∶10 sccm时，刻蚀形成的凹槽侧壁陡直，底部平坦;实验制备的倒脊形马赫-曾德尔波导在1 550 nm波长下通光良好.
聚二甲基硅氧烷 旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯 反应离子刻蚀 聚合物电光调制器 Polydimethylsiloxane Poly［(methyl methacrylate)-co-(Disperse Red 1 met Reactive ion etching Polymer electro-optic modulator
1 中国科学院微电子中心微光刻实验室,北京,100029
2 山东大学电气工程学院,山东,济南,250061
3 中国科学院微电子中心电工研究所,北京,100080
提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程.该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA(Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程.
电子束曝光 蒙特卡罗法 坐标转换
