吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室,长春 130012
采用油酸修饰的铒镱共掺氟化镧纳米颗粒掺杂的有机-无机杂化材料做为光波导放大器的有源层，同时采用光学性质良好的甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯共聚物制作光波导的上下包层，首先说明了芯层材料不能刻蚀制备传统矩形波导的原因，其次设计了一种倒脊结构的平面光波导放大器，并采用蒸镀铝掩膜、紫外光刻和反应离子刻蚀等工艺，制备出放大器的样品，同时对样品端面进行了化学机械抛光处理，在信号光（1 550 nm）功率为1 mW的条件下，在1.9 cm长度的波导上获得了3.2 dB的相对增益.
平面光波导放大器 Yb纳米颗粒 倒脊型光波导 增益特性 Planar waveguide amplifier LaF3∶Er LaF3∶Er Yb Embedded ridge waveguide Gain characteristics
