1 中北大学 仪器与电子学院,山西 太原 030051
2 中国科学院微电子研究所 智能感知研发中心,北京 100029
基于等离子体再聚合技术制备了纳米纤维—纳米锥双层森林结构,并通过磁控溅射工艺在结构表面引入金属纳米颗粒实现了双层复合纳米森林结构,工艺流程简单便捷,与常规微纳加工工艺兼容性好,易于实现大面积的并行加工.将纳米森林的陷光效应和金属纳米颗粒的表面等离激元效应相结合,对双层复合纳米森林结构的光吸收特性进行深入研究与探索,最终实现了该复合纳米森林结构在1.5~25 μm波长范围内84.1%的平均吸收率.具有宽光谱高吸收光学特性的双层复合纳米森林结构有望在提高红外器件性能和拓展器件应用等方面获得广泛应用.
等离子体再聚合 纳米森林结构 表面等离激元 宽光谱高吸收 plasma repolymerization nanoforests surface plasmon broadband high absorption
1 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
2 中国科学院高能物理研究所, 北京 100049
设计了一种新的3D硅像素探测器的器件结构以简化制造工艺。该结构仅包含一种掺杂类型的柱状电极。通过工业级TCAD仿真对这种结构的电学特性进行了深入研究, 阐述了它的技术优势及潜在缺陷。同时研究了制造这种3D硅像素探测器的特殊工艺流程和相关关键工艺, 并给出了主要工艺结果。
硅像素探测器 3D硅像素探测器 TCAD仿真 深孔刻蚀 silicon pixel sensor 3D detectors TCAD simulation deep trench etching
