瞿帆 1,2傅剑宇 1,2,3侯影 1,2,3卢一泓 4[ ... ]陈大鹏 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所新技术开发部物联网技术研发实验室, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 无锡物联网创新中心有限公司, 江苏 无锡 214028
4 中国科学院微电子研究所集成电路先导研发中心, 北京 100029
为适应非制冷红外探测器高空间分辨率的发展趋势, 非制冷红外焦平面阵列作为非制冷红外探测器的核心部件不断向大阵列、小像素方向发展。本文针对二极管型非制冷红外焦平面阵列, 理论分析了敏感元件二极管对读出电路以及器件性能的影响, 在确定二极管最佳工作电流的同时, 提炼出二极管结构中串联个数以及结面积为主要性能影响因素。基于此, 设计了 p+n-pn-n+p三合一二极管, 并将其与传统二极管、回型二极管、 p+n-n+p二合一二极管、以及由 p+n-n+p二合一二极管直接拓展得到的两种三合一二极管进行了对比考察, 研究发现 6种结构中 p+n-pn-n+p三合一二极管在相同尺寸下拥有最多的二极管串联数量且结面积相对最大; 进而利用 Sentaurus TCAD仿真, 验证了在同一整体尺寸下, p+n-pn-n+p三合一二极管的电压温度系数分别约为 p+n-n+p二合一二极管, 及在其基础上直接拓展得到的两种三合一二极管的 1.5倍, 为回型二极管与传统二极管的 2.6倍、3.7倍。证明了在小像素下 p+n-pn-n+p三合一二极管性能最优, 且在其基础上拓展可得到 N合一二极管能进一步优化器件的性能。
二极管非制冷红外探测器 噪声等效温差 电压温度系数 三合一二极管 diode uncooled infrared detector noise equivalent temperature difference temperature coefficient of voltage 3-in-1 diode 
红外技术
2023, 45(3): 308
孙朋 1,2傅剑宇 1,2,*许高博 1,2丁明正 1[ ... ]陈大鹏 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
硅像素传感器上的保护环结构有利于提高传感器的耐高电压性能,为评估保护环结构对硅像素传感器的保护效果,仿真分析了三种保护环结构。通过计算机辅助设计 技术对三种保护环结构进行二维建模,利用TACD内置的电学模型对三种保护环结构的I-V特性进行了仿真。研究结果表明,电流收集环会提高像素的耐高电压性能,同时不等间距保护环、保护环的内外等距离Al悬挂以及多个保护环结构有利于进一步提高传感器的击穿电压。
PIN二极管 硅像素传感器 保护环 耐高电压 计算机辅助设计 PIN diode Silicon pixel sensor Guard ring Withstand high voltage Technology computer aided degsin 
光子学报
2021, 50(12): 1228002
作者单位
摘要
中国科学院微电子研究所, 北京 100029
多种农药, 包括孔雀石绿(MG)作为禁用兽药, 存在食用致癌的风险。 由于MG低廉的价格和极好的药效, 在渔业养殖中一直被不法商贩非法使用, 使得鱼类生鲜中时有MG残留检出。 针对MG分子痕量残留的检测, 目前一般是抽取少量养殖水样, 再利用高效液相色谱柱、 液相色谱-光谱等方法来评估其是否超标。 这类传统的检测方法一般需要依赖价格昂贵的大型设备, 且检测过程操作繁琐复杂, 单次检测耗时长、 价格高, 因而与农贸市场中商品流通量大、 速度快、 价格需亲民低廉等特点和要求不相符合。 近年来, 表面增强拉曼散射(SERS)检测技术以及便携式拉曼光谱仪的出现, 有望实现对痕量农药分子的现场快速检测, 进而很好地解决这一问题。 SERS检测技术利用金属纳米结构的表面等离激元效应感应位于其结构表面附近的分子, 得到分子种类和浓度信息。 为了降低可检测的浓度极限, 一般会在SERS基底上利用咖啡环效应或其他手段将待测分子蒸发富集, 以获得足够高的信号强度。 针对亲水基底, 液滴与基底相接触后, 会在基底表面摊开, 使其分布面积扩大, 导致其咖啡环周长变长, 分子分布浓度随之降低。 而当采用疏水基底富集时, 由于常规的疏水基底表面黏附性小, 液滴在其表面处于随处滚动无法抓取的状态, 极大增加了操作的难度。 以MG分子痕量残留的检测为例, 由于农贸市场人员众多、 无专业实验平台, 磕碰撞击时有发生, 在此环境下采用疏水SERS基底对农药分子进行检测显然是不可取的。 该研究提出一种基于超疏水高黏附纳米森林结构的SERS基底用于痕量MG分子的快速现场检测。 相比于超疏水SERS基底, 所提出的超疏水高黏附基底利用其高黏附性可牢固抓取待测液滴, 解决了以往超疏水基底在实际现场检测中存在液滴滚动无法操作的问题。 此外, 与亲水基底相比, 超疏水高黏附基底由于接触角大, 可将咖啡环面积缩小5.73倍, 继而使分子的富集浓度提高5.73倍, 最终使检测极限浓度降低了至少两个数量级。 研究所提出的超疏水高黏附SERS基底有望在痕量农药分子快速现场检测中得到应用。
表面增强拉曼散射(SERS) 痕量农药分子 超疏水高黏附 孔雀石绿 咖啡环 分子富集 Surface enhanced Raman scattering (SERS) Trace pesticide molecules Parahydrophobic Malachite green Coffee ring Molecular enrichment 
光谱学与光谱分析
2021, 41(8): 2499
张琛琛 1,2毛海央 2,3,*白乐乐 4熊继军 1[ ... ]陈大鹏 2,3
作者单位
摘要
1 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,动态测试技术山西省重点实验室,山西太原030051
2 中科院学院微电子研究所 智能感知研发中心,北京100029
3 江苏创芯海微科技有限公司,江苏无锡214001
4 山西大学 量子光学与光量子器件国家重点实验室,山西太原030006
传统地,MEMS红外探测器响应时间的测量需要基于黑体辐射源、斩波器、水冷装置等设备搭建一套复杂的测量系统,然而斩波器的遮挡区域和透光区域具有一定的面积,其按某频率工作时会消耗一定的时间,而测试所得的器件响应时间无法排除斩波器的工作耗时,导致测试结果存在较大误差,所测响应时间为14.46ms。为解决这一问题,提出了一种以钛宝石激光器为辐射光源,利用声光调制器构建纳秒级激光脉冲,MEMS红外探测器响应激光脉冲的作用输出脉冲电信号,很好地规避了测量系统中设备工作耗时引入的时间参数,所测响应时间仅为3.13ms。由此可见,传统方法中斩波器工作耗时引入的时间误差甚至超过器件响应时间的300%,充分证明了此方法可以有效解决这一问题,进而为MEMS红外探测器以及其它光学探测器性能参数的测试与计量提供了一种新的方法。
激光脉冲 MEMS红外探测器 响应时间 斩波器 laser MEMS IR detectors response time chopper 
红外与毫米波学报
2020, 39(5): 619
赵倩 1,2杨宇东 1桂博 1,2毛海央 1,2,3[ ... ]陈大鹏 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 无锡物联网创新中心有限公司, 江苏 无锡 214135
具有无损、 超灵敏和实时检测优点的表面增强拉曼散射(SERS)器件具有重要研究意义。 目前, 针对SERS器件的大部分研究都围绕着非透明的器件展开。 使用此类器件检测高浓度试剂时, 激光只能从正面入射。 这意味着入射激光需要穿透被测试剂分子层才能到达位于其下方的金属纳米结构表面, 因此用于激发金属纳米结构表面等离子体共振(SPR)的激光能量被减弱, 相应地, SERS光谱信号也被减弱; 此外, SERS光谱信号因被测试剂分子层的遮挡, 无法高效返回到电荷耦合元件(CCD)中, 再次被大幅度减弱, 甚至有可能完全无法被检测到。 相比之下, 如果使用透明SERS器件, 检测过程中将被测试剂分子置于器件正面, 激光从器件背面入射, 此时高浓度被测试剂分子层对入射激光和SERS光谱信号的干扰最小。 这种情况下, 可以得到较好的光谱信号。 通过在石英基底上旋涂聚酰亚胺(PI)层, 然后通过氧等离子体对PI层进行无掩模轰击, 在石英基底上自行生成纳米纤维掩模, 配合反应离子刻蚀工艺(RIE)制备了石英纳米锥森林结构。 之后, 通过金属纳米颗粒溅射工艺, 得到 SERS透明器件。 对于该SERS透明器件, 在测试过程中, 拉曼激光可从器件的正面以及背面分别入射。 初步的测试结果表明, 对于罗丹明6G(R6G)在10-3~10-6 mol·L-1这一浓度范围内, 背面入射方式收集的SERS光谱信号强度高于正面入射方式。 另外, 进一步研究了该SERS透明器件背面检测的一致性, 得到了良好的结果, 证明了其在实际生化检测中的可行性。 这一工作有望扩展SERS在分析物检测领域中的应用。
纳米锥森林结构 表面增强拉曼散射(SERS) SERS透明器件 石英 Nanocone forests Surface enhanced Raman scattering (SERS) SERS transparent device Quartz 
光谱学与光谱分析
2020, 40(4): 1168
刘超 1,2侯影 1,3傅剑宇 1,2,3,*刘瑞文 1,**[ ... ]陈大鹏 1,2,3
作者单位
摘要
1 Integrated Circuit Advanced Process R&D Center, Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 00029, China
2 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
3 Wuxi Innovation Center for Internet of Things, Wuxi 214028,China
红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能。精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义。二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一。基于二极管型红外热探测器的自热效应,提出了一种热学参数的电学等效测试方法,具有测量精度高且实现简单的特点。并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试,测试结果与理论分析相符,验证了方法的可行性。
红外热探测器 二极管 电学等效测试 热学参数 infrared thermal detector diode electrical equivalent test thermal parameters 
红外与毫米波学报
2019, 38(6): 798
许维 1,2王盛凯 1,2徐杨 3,4王英辉 4[ ... ]刘洪刚 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所 1. 微电子器件与集成技术重点实验室
2 2. 高频高压器件与集成研发中心
3 中国科学院微电子研究所 2. 高频高压器件与集成研发中心
4 智能感知研发中心, 北京 10009
着重分析了晶圆表面残留颗粒对晶圆键合的影响, 并从表面残留颗粒统计意义的角度, 得到了一个晶圆键合的判定标准。为了改善键合界面出现的气泡问题, 一种基于点压技术的新型点压键合法被应用到整片键合中, 并和传统的金金热压键合法进行了比较。实验表明, 采用点压键合法能够有效抑制晶圆表面残留颗粒对晶圆键合的影响。
晶圆键合 热压键合 点压键合法 表面粗糙度 表面清洁度 wafer bonding thermocompression bonding spot pressing bonding surface roughness surface cleanliness 
半导体光电
2016, 37(6): 809
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
2 中国科学院高能物理研究所, 北京 100049
设计了一种新的3D硅像素探测器的器件结构以简化制造工艺。该结构仅包含一种掺杂类型的柱状电极。通过工业级TCAD仿真对这种结构的电学特性进行了深入研究, 阐述了它的技术优势及潜在缺陷。同时研究了制造这种3D硅像素探测器的特殊工艺流程和相关关键工艺, 并给出了主要工艺结果。
硅像素探测器 3D硅像素探测器 TCAD仿真 深孔刻蚀 silicon pixel sensor 3D detectors TCAD simulation deep trench etching 
半导体光电
2015, 36(2): 197
黄卓磊 1,*王玮冰 1,2蒋文静 1,2欧文 1,2[ ... ]陈大鹏 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029
2 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心,江苏 无锡214135
使用红外探测器及读出电路, 研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器, 使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构, 使得填充因子从20%提高到80%.器件的微机械结构面积为35μm×35μm.读出电路的失调电压为3μV.探测器的输出噪声为2μV.探测器的电压响应率为7894.7V/W, 黑体探测率D*为1.56×109cmHz1/2/W, 噪声等效温差为330mK, 响应时间为27 ms.
红外探测器 二极管 填充因子 吸收层 读出电路 infrared detector diode fill-factor absorber readout circuit 
红外与毫米波学报
2014, 33(1): 50
张勇 1,*程腾 1张青川 1陈大鹏 2[ ... ]高越 1
作者单位
摘要
1 中国科学技术大学 中国科学院材料力学行为和设计重点实验室, 安徽 合肥 230027
2 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
与传统的有基底FPA(焦平面阵列)相比, 基于全镂空支撑框架结构的新型无基底FPA在热学特性上存在显著差异, 传统的基于恒温基底假设的热学分析模型不再适用, 因此, 通过电学比拟方法, 将无基底FPA的热响应特性等效为电学模型.通过该模型, 进一步分析了无基底FPA在非真空环境下的热学性能, 分析表明: 该无基底FPA具有在大气压下优良的红外成像性能, 其NETD(噪声等效温度差)值仅比真空环境下增加了数倍.
非制冷红外成像 等效电学模型 电学比拟 光学读出 焦平面阵列 uncooled infrared imaging equivalent circuit model electrics and holistic approach optical readout focal plane array 
红外与毫米波学报
2013, 32(5): 394

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