1 Integrated Circuit Advanced Process R&D Center, Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 00029, China
2 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
3 Wuxi Innovation Center for Internet of Things, Wuxi 214028，China
红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间，反应了结构信息和器件性能。精确有效地获得这些参数，对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义。二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一。基于二极管型红外热探测器的自热效应，提出了一种热学参数的电学等效测试方法，具有测量精度高且实现简单的特点。并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试，测试结果与理论分析相符，验证了方法的可行性。
红外热探测器 二极管 电学等效测试 热学参数 infrared thermal detector diode electrical equivalent test thermal parameters
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
用热传导方程计算了在脉宽10ns、波长1.06μm的激光辐射下,TiO_2单层膜的温度场分布.结果表明:膜层的热参数增大,其峰值温度明显降低,而基板热参数变化对膜层温度响应影响很小,温度场分布由电场分布决定,1/4波长薄膜的峰值温度低于半波长薄膜的峰值温度.
温度场分布 光学薄膜 热学参数
