电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都 610054
空间光调制技术广泛应用于阈值开关、高速光互连、光逻辑运算等领域，对光信号的实时快速寻址有极高的要求。与电寻址方式相比，光寻址采用并行寻址，速度快，分辨率高，具有更大的优势。但在实际应用中，如何实现快速稳定的光寻址成为空间光调制的关键。本文以ZnO 薄膜作为光导层，构造光寻址液晶空间光调制器，更好地实现了对读出光光强和相位的二维空间分布的调制。
ZnO 薄膜 光寻址 液晶空间光调制器 ZnO thin film optically-addressing Liquid Crystal Optically-Addressing Spatial Light 太赫兹科学与电子信息学报
2015, 13(1): 173
电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都610054
采用射频磁控溅射方法在n型硅片上制备了底栅顶结构的铟镓锌氧-薄膜晶体管(IGZO-TFT)。分别采用Au、Cu、Al 3种金属材料作为电极, 研究不同电极材料对IGZO薄膜晶体管性能的影响。器件的输出特性和转移特性测试结果表明: 以Au为电极的IGZO-TFT具有最佳的性能, 其饱和输出电流达到17.9 μA, 开关比达到1.4×106。基于功函数比较分析了3种电极的接触特性, 根据TLM(Transmission line model)理论推算得出Au电极具有三者中最小的接触电阻。
接触电阻 TLM理论 功函数 IGZO IGZO contact resistance TLM theory work function
