1 上海大学特种光纤与光接入网省部共建重点实验室, 上海 200072
2 上海大学通信与信息工程学院, 上海 200072
面向光印刷互连背板的应用需求，提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究，在背板上任意位置获得光波导端面实现光耦合。采用193 nm 波长的准分子激光作为光源，通过方形掩模孔径投影在互连背板光波导上，研究了激光能量、激光脉冲次数与刻蚀深度、端面粗糙度等参量之间关系，通过刻蚀参数的优化，刻蚀后端面光耦合损耗增加量约1.3 dB。
激光技术 准分子激光 光波导 激光消融 光互连 光印刷背板
