1 山东建筑大学,理学院,山东,济南,250014
2 山东大学,材料科学与工程学院,山东,济南,250061
3 山东大学,机械工程学院,山东,济南,250061
铁电薄膜在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有着广泛的应用(前景).脉冲激光沉积(PLD)在铁电薄膜制备方面显示出独特的优越性.介绍了PLD的原理、特点;综述了PLD工艺参数,包括衬底温度、氧气压力、靶材结构与成分、能量密度、靶基距离、缓冲膜以及退火工艺等的研究现状;展望了PLD制备铁电薄膜的应用前景.
脉冲激光沉积 铁电薄膜 工艺参数
1 山东大学 材料科学与工程学院，济南 250061
2 山东建筑工程学院，济南 250014
羟基磷灰石(HA)是目前生物相容性最好的生物活性陶瓷。其涂层的制备方法也成为材料学科研究的热点之一。激光熔覆作为表面改性的新技术，在制备HA生物陶瓷涂层方面显示出独特的优越性，所得涂层质量明显优于其它制备技术。对激光熔覆HA涂层的组织性能特点及影响因素进行了综述，详细分析了工艺参数、反应物配比、稀土元素及梯度涂层等因素对涂层质量的影响，展望了该项技术的应用前景。
材料 HA涂层 显微组织 性能 影响因素 materials HA coating microstructure properties influencing factors
1 山东大学 材料科学与工程学院，济南 250061
2 山东建筑工程学院，济南 250014
在总结国内外激光熔覆金属陶瓷涂层开裂研究现状的基础上，分析了裂纹的形成机理，从激光处理工艺和参数选择、熔覆层成分及基体形状的设计等方面阐述了裂纹行为的影响因素及相应的防止措施，最后展望了其发展前景。
激光技术 激光熔覆 金属陶瓷 裂纹 防止措施 laser technique laser cladding metal ceramics cracks preventive measure
1 山东建筑工程学院,山东济南,250014
2 山东大学材料科学与工程学院,山东济南,250061
脉冲激光沉积是近年来出现的一项制备薄膜的新技术,在制备生物活性薄膜方面显示出独特的优越性.介绍了脉冲激光沉积技术的原理及特点,详细综述了反应气氛、衬底温度、激光波长、能量密度、靶材性能、沉积速率及薄膜厚度等工艺参数对羟基磷灰石及生物玻璃薄膜组织及性能的影响,展望了该项技术的应用前景.
脉冲激光沉积 生物活性 羟基磷灰石 生物玻璃
