1 光电控制技术重点实验室, 河南 洛阳 471000
2 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所, 河南 洛阳 471000
3 中国人民解放军93787部队, 北京 100076
全息波导元件的设计通常会分解为光栅设计和波导设计, 这种设计过程并不直观, 且不适用于加工误差分析。为了解决上述问题, 提出一种全息波导元件的综合分析方法, 以二维出瞳拓展的全息波导显示系统为例, 针对波导上下表面不平行度、光栅结构参数进行误差分析, 以便了解上述误差对成像质量的影响。通过对模型参数的误差分析, 对实际的生产加工过程提出有意义的精度指导。
波导光学 衍射光学 全息波导 误差分析 waveguide optics diffraction optics holographic waveguide error analysis
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
为实现高精度非球面的面形误差检测，对激光直写计算全息图（CGH）的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的，通过基础工艺实验，探究离焦量对光刻胶上线宽的影响；研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律；分析线宽误差与位置误差关系，得到CGH 不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果，制作最小线宽1.8 mm，直径80 mm 的振幅型CGH。检测结果表明，波前误差均方根值为0.011l，达到l/100 量级，可用于高精度非球面的检测。
全息 衍射光学元件制作 线宽 非球面检验 激光与光电子学进展
2014, 51(11): 110902
