1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院,北京 100039
利用临界角法检焦具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点设计了亚微米级检焦系统。介绍了临界角法离焦检测的基本原理,通过合理假设,利用菲涅尔公式和高斯光学公式得到了离焦误差信号的计算公式。实验采用单光路临界角法,利用He-Ne激光器、临界角棱镜、四象限光电探测器、信号采样电路、数据采集卡等元器件组成离焦检测系统,实现离焦信号的提取;通过数字滤波、归一化处理等技术得到离焦误差信号(FES),以此获得FES的大小和变化趋势与离焦量的关系曲线。实验表明,临界角法探焦系统静态分辨力＜15 nm、线性范围可达±4 μm,满足亚微米级检焦系统的设计要求。
临界角法 离焦检焦 亚微米级 critical-angle method focus error detecting sub-micrometer grade
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
2 中国科学院研究生院,北京,100039
3 大连海事大学,辽宁,大连,116026
为提高球面激光直写图形线宽均匀度,提出了球面激光直写四轴同心结构和同心扫描光学系统的方案.这种方案使得激光束经水平轴、垂直轴、光轴和工件中心轴相交于球心,经球心反射镜反射到球面工件表面上,形成激光曝光光斑.采用微小离焦探测和复合闭环控制的自动调焦技术与计算机并行工作的控制方法,确保了球面工件以垂直轴为轴心沿水平方向精密匀速旋转;激光笔绕水平轴以俯仰弧形轨迹移动且精准定位;激光束经写入物镜和调焦系统始终以圆形光点聚焦在球面上,实现了对球面任意纬度连续激光直写线条精度的可靠控制.原子力显微镜检测分析结果表明,在球面上激光直写出约3(m宽线条,线宽均匀度10%左右.
球面 激光直写 线宽 自动调焦 反馈控制
1 吉林大学物理系, 长春 130023
2 中国科学院长春光机所, 长春 130022
3 东北师范大学物理系, 长春 130024
4 吉林师范学院物理系, 长春 130032
中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130022
文本描述了一种新的显微成像方法,它把光学扫描显微成像技术与成像多光谱技术巧妙地结合在一起,形成扫描多光谱显微成像技术.文中叙述了系统的结构及工作原理,介绍了所采用的图像处理系统,给出了实验结果,并进行了分析讨论.
扫描光学显微术 成像光谱术
运动补偿是提高ISAR分辨率的关键技术.本文从距离-多普勒成像原理出发,对几种典型运动误差的补偿问题作了有益的探讨,并给出了相应的光学补偿方案和实验室处理系统,获得了较好的实验结果.同时,讨论了一般运动误差的补偿方案及实时处理的可行性.
逆合成孔径雷达(ISAR)运动补偿图像处理
本文提出了一种应用双焦距波带板做为横向剪切元件的干涉仪,适用于检测会聚波面像差。它结构简单,不仅具有Ronchi光栅检测的优点,而且条纹对比度好,可根据需要改变剪切量,不需要更换波带板。这种干涉仪可由在波带板平面内移动波带板,获得待测波面任意方向的剪切干涉图。双焦距波带板可用全息方法很容易制作。文中给出了实验结果。
横向剪切干涉仪 双焦距波带板
本文提出了一种新的、应用全息位相共轭补偿的原理、检测球面光学元件面形和曲率半径的干涉测量方法.文中详述了方法的基本原理、给出了实验结果.对该方法的特点进行了讨论.
