北京理工大学 信息与电子学院 毫米波与太赫兹技术北京市重点实验室, 北京 100081
设计了一种高集成检波器, 其包含贴片天线、匹配电路、肖特基二极管和透镜.在中芯国际130 nm工艺下将天线、匹配电路、肖特基二极管集成到一个芯片上, 检波器的集成度相比于分离式有了明显的提高.为增强片上天线的方向性, 进行了带有空气腔的尼龙透镜的设计和优化.透镜上的空气腔不但提供了组装空间而且减小了透镜体积.通过测试, 天线在220 GHz辐射增益为22 dB, 其中透镜贡献约为20 dB.检波器测试得到的响应率可达到130~150 V/W,等效噪声功率计算为400~460 pW/Hz.
太赫兹(THz)检波器 互补金属氧化物半导体工艺 肖特基二极管 透镜天线 terahertz detector CMOS Schottky diode lens antenna
1 北京理工大学 信息与电子学院 毫米波与太赫兹技术北京市重点实验室, 北京 100081
2 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
3 北京理工大学 材料科学与工程学院, 北京 100081
设计了一种倒装焊结构, 用于340 GHz的肖特基二极管探测器.探测单元是基于砷化镓(GaAs)工艺设计的.薄膜陶瓷支撑层旨在为太赫兹检测单元提供封装.通常, 导电胶用作天线和输出电路之间的附接.分别对倒装焊结构和无倒装焊结构(类引线键合结构)模型对太赫兹接收天线性能的影响进行研究.为了比较的目的, 使用相同的测试系统表征FC结构模型和无FC结构模型(引线键合结构).通过引线键合与倒装焊测试增益的结果比较, 表明倒装焊结构可以作为大规模太赫兹检测阵列封装的低成本解决方案.
太赫兹 倒装焊 对数周期天线 太赫兹封装 薄膜陶瓷 肖特基二极管 THz flip chip log periodic antenna THz package thin-film ceramic Schottky diode
