华中光电技术研究所 武汉光电国家实验室， 湖北 武汉 430073
在精密光学加工中，金刚石砂轮被广泛应用于精磨各种硬脆性材料。为了提高光学零件的表面质量，降低亚表面损伤，精密金刚石砂轮的制造及其光学加工工艺受到广泛的关注。综述了金刚石砂轮的结构、装夹方式、结合剂及基体的选用情况，对金刚石砂轮的静平衡和动平衡进行了分析，并提出了解决方案，运用该方案加工出的非球面零件面形精度Rt<1 μm，Ra＜0.3 μm。实践证明，运用该方法加工出的零件达到了超精磨的水平，大大提高了后道工序的加工效率。
金刚石砂轮 精磨 静平衡 动平衡 diamond grinding wheel precision grinding static balancing dynamic balancing
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为实现高精度中小口径非球面的加工,介绍了一种非球面修抛技术。基于Preston假设,将抛光过程描述成一个线性方程,计算得到材料的去除量与抛光时间、抛光压力和零件转速之间的函数关系。设计了整体修抛法和环带修抛法两种方法,在数控抛光的基础上,对口径为Ф117 mm的凹抛物面和口径为Ф17 mm凸双曲面进行修抛,修抛后非球面的面形精度PV值为0.184 μm,RMS均小于0.032 μm,达到了工程化应用要求,实现了中小口径非球面的高精度加工。
高精度 非球面 修抛 面形精度 high precision aspheric surface correction polishing surface figure
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光学零件制造领域中，用传统的方法在微晶玻璃上加工高精度内孔存在很多困难，如钻孔时常出现椭圆、中心偏、锥形、爆边等问题。为了解决这些问题，利用简单的钻床和万能外圆磨床设备，在微晶玻璃上完成钻孔、扩孔、磨边加工后，得到了内孔尺寸精度为0.01mm、内孔与外圆同轴度为0.01mm的高精度圆孔。生产实践表明：该工艺重复性良好，加工性能稳定。不仅解决了玻璃钻孔常见问题，而且得到了高精度玻璃内孔。
微晶玻璃 钻孔 内孔 同轴度 glass ceramics drilling inner hole coaxiality
