华中光电技术研究所 武汉光电国家实验室， 湖北 武汉 430073
在精密光学加工中，金刚石砂轮被广泛应用于精磨各种硬脆性材料。为了提高光学零件的表面质量，降低亚表面损伤，精密金刚石砂轮的制造及其光学加工工艺受到广泛的关注。综述了金刚石砂轮的结构、装夹方式、结合剂及基体的选用情况，对金刚石砂轮的静平衡和动平衡进行了分析，并提出了解决方案，运用该方案加工出的非球面零件面形精度Rt<1 μm，Ra＜0.3 μm。实践证明，运用该方法加工出的零件达到了超精磨的水平，大大提高了后道工序的加工效率。
金刚石砂轮 精磨 静平衡 动平衡 diamond grinding wheel precision grinding static balancing dynamic balancing
